電子探針epmappt課件-資料下載頁
2025-05-01 13:17本頁面
【正文】 理 利用電子探針儀進(jìn)行微區(qū)成分的定量分析，即把某元素的特征 X射線測量強度換算成百分濃度時，涉及 X射線信號發(fā)生和發(fā)射過程中的許多物理現(xiàn)象，十分敏感地受到樣品本身化學(xué)成分的影響，需要一整套復(fù)雜的校正計算。 對于原子序數(shù)高于 濃度高于 10%左右的元素來說，定量分析的相對精度約為 177。 1%～ 5%。但對于原子序數(shù)低于 10的一些輕元素或超輕元素來說，無論從定性還是定量分析的角度來看，尚有許多方面需要改善和提高。 電子探針儀的樣品制備相對掃描電鏡來說稍嫌麻煩。樣品質(zhì)量的好壞，對分析結(jié)果影響很大。因此，對用于電子探針分析的樣品應(yīng)滿足下列三點要求： (1) 必須嚴(yán)格保證樣品表面的清潔和平整 (2)適宜的樣品尺寸： Φ20*20mm (3) 樣品表面須具有良好的導(dǎo)電性 ? 四、應(yīng)用領(lǐng)域、應(yīng)用范例 WDX EDX Ｍｏ Ｍｏ Ｓ Ｓ Ｓ 成分定性分析 面分析 SEI Fe Pd Pt Ni Sb S Cu 成分偏析 線分析 定量分析 定量分析 組織形貌 二次電子像 背反射 電 子 （組成）像 NaAlSiO3 Z= KAlSi3O8 Z= Al2O3 Z= ? 比較內(nèi)容 WDS EDS ? 元素分析范圍 ５ B－ 92U 4Be－ 92U ? 定量分析速度 慢 快 ? 分辨率 高（ ≈ 5eV） 低（ 130 eV） ? 檢測極限 102 (%) 101 (%) ? 定量分析準(zhǔn)確度 高 低 ? 輕元素分析 好 一般 ? X射線收集效率 低 高 ? P/B（ WDS/EDS） 10 1 ? 價格 昂貴 經(jīng)濟(jì) 能譜和波譜性能比較 謝 謝 !
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