電子探針epmappt課件(參考版)
2025-05-04 13:17本頁(yè)面
【正文】 樣品質(zhì)量的好壞，對(duì)分析結(jié)果影響很大。但對(duì)于原子序數(shù)低于 10的一些輕元素或超輕元素來(lái)說(shuō)，無(wú)論從定性還是定量分析的角度來(lái)看，尚有許多方面需要改善和提高。 對(duì)于原子序數(shù)高于 濃度高于 10%左右的元素來(lái)說(shuō)，定量分析的相對(duì)精度約為 177。所以，樣品臺(tái)除了可作 X、 Y軸方向的平移運(yùn)動(dòng)外，一般不作傾斜運(yùn)動(dòng)，對(duì)于定量分析更是如此。 4)樣品室 電子探針定量分析要求在完全相同的條件下，對(duì)未知樣品和待分析元素的標(biāo)樣測(cè)定特定譜線的強(qiáng)度，樣品臺(tái)?？赏瑫r(shí)容納多個(gè)樣品座，分別裝置樣品和標(biāo)樣，后者可有十幾個(gè)。 (2) 入射電子束流的選擇 樣品為了提高 X射線信號(hào)強(qiáng)度，電子探針儀必須采用較大的入射電子束流。選擇晶體的其他條件是晶體的完整性、波長(zhǎng)分辨本領(lǐng)、衍射效率、衍射峰強(qiáng)度和峰背比都要高，以提高分析的靈敏度和準(zhǔn)確度。顯然，對(duì)于不同波長(zhǎng)的特征 X射線就需要選用與其波長(zhǎng)相當(dāng)?shù)姆止饩w。因此，恰當(dāng)?shù)剡x用彎晶是很重要的。因此，只要讀出譜儀上的 L值，就可直接得到 λ值。聚焦圓半徑不變，圓心在以光源為中心的圓周上運(yùn)動(dòng)，光源、彎晶和接收狹縫也都始終落在聚焦圓的圓周上。因此，雖然在結(jié)構(gòu)上比較復(fù)雜，但它是目前最常用的一種譜儀。若將發(fā)生某一元素特征 X射線的入射角 θ固定，對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)掃描，即可得到某一元素的線分布或面分布圖像。 若電子束位置不變，改變晶體的位置，使 (hkl)晶面與入射 X射線交角為 θ2，并相應(yīng)地改變檢測(cè)器的位置，就可以檢測(cè)到波長(zhǎng)為 λ2= 2d sinθ2的 X射線。 若有一束包括不同波長(zhǎng)的 X射線照射到一個(gè)晶體表面上，平行于該晶體表面的晶面 (hkl)的間距為 d，入射 X射線與該晶面的夾角為 θ1，則其中只有滿足布喇格方程 λ1=2dsinθ1 的那個(gè)波長(zhǎng)的 X射線發(fā)生衍射。 波長(zhǎng)分散譜儀 (波譜儀或光譜儀 ) 一般說(shuō)來(lái)，入射電子束激發(fā)樣品產(chǎn)生的特征 X射線是多波長(zhǎng)的。 這就是利用電子探針儀作定性、定量分析的理論根據(jù)。 只要測(cè)出特征 X射線的波長(zhǎng)，就可確定相應(yīng)元素的原子序數(shù)。
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