sem電子顯微鏡與電子探針(參考版)
2025-05-10 18:13本頁(yè)面
【正文】 高電流發(fā)射密度 +小交叉點(diǎn) 比 W陰極高 1000倍的亮度 減小束斑 提高儀器分辨率 W針尖的制備 六、小結(jié) 。 Δ 熱場(chǎng)致發(fā)射－ (二 ) 電子槍 1．三級(jí)電子槍 F：燈絲 負(fù)高壓 發(fā)射電子 A：陽(yáng)極 接地 F、 A間形成對(duì)電子的加速場(chǎng) W：柵極 負(fù)偏壓 (相對(duì)于陰極 ) △ 讓電子只通過(guò)柵孔 △ 聚焦透鏡作用：在陽(yáng)極附近形成交叉點(diǎn) 2． 場(chǎng)發(fā)射槍 發(fā)射出來(lái)的電子在陰極尖后形成交叉虛象， 直徑 100197。 dp / 2 = Dα o/ 2 D = dp / α o α o一般為 1mrad 故：景深為最小可分辨的 1000倍 景深大 適于觀察粗糙樣品 四、工作模式與襯度原理 (一 )二次電子象 (二 )背散射電子象 (三 )二次電子象與背散射電子象的比較 工作模式 ：依賴(lài)于用哪種物理量來(lái)調(diào)制顯象管 △ 二次電子象模式 △ 背散射電子象模式 襯度 ： (對(duì)比度，是得到圖象的最基本要素 ) S為檢測(cè)信號(hào)強(qiáng)度 m a xm i nm a xSSSC ?? (一 ) 二次電子象 1. 形貌襯度 二次電子產(chǎn)額 δ = Is/Ip △ δ ∝ 1 / cosθ θ 為入射電子束與樣品法線(xiàn)的夾角 △ 尖、棱、角處 δ 增加 溝、槽、孔、穴處 δ 減小 2. 成分襯度 3. 電位襯度 1． 形貌襯度 △ 傾角因素： 背散射電子產(chǎn)額 η =Ib/Ip η 隨傾角 θ 增加而增加，但不精確滿(mǎn)足正割關(guān)系 △ 方向因素： 背散射電子在進(jìn)入檢測(cè)器之前方向不變 入射束與背散射電子的方向關(guān)系 (二 )背散射電子象 2. 晶向襯度 3． 成分襯度
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