電子探針epmappt課件-文庫吧資料
2025-05-07 13:17本頁面
【正文】 由于電子束照射面積很小 ， 因而相應的 X射線特征譜線將反映出該微小區(qū)域內的元素種類及其含量 。 ? 背散射電子像分辨率： W燈絲： 200197。電子探針 EPMA (Electron Probe Microanalyzer) 一、設備介紹： 電子探針原產地：日本島津公司，處于國內先進水平 ① 背散射電子 ②二次 電 子 ④ 特征 Ｘ 射線 吸收電子 EPMA的檢測信號 ③ 透射電子 樣 品 二、應用領域和實驗對象： 特征 X射線 ２次 電 子 背散射電子 透射電子 表面 觀察 元素分析 EPMA ＥＰＭＡ 可 分析 對象 金屬材料 電 子材料 高分子材料 氧化物 生物樣品 鋼鐵 有色 金屬 合金 電工電 子半 導 體材料 玻璃 礦物 陶瓷 樹脂 纖維 動物 植物 設備主要技術參數 ? 元素測量范圍： 5B ~ 92U ? 束流范圍 ： 106 ~ 1012A ? 二次電子像分辨率 : W燈絲 : 60197。 ， CeBix燈絲 :50197。 ? 放大倍數 : 50 ~ 400,000 ? １５ｋＶ ５００００ 三、設備性能指標 ? 電子探針是指用聚焦很細的電子束照射要檢測的樣品表面 ， 用 X射線分光譜儀測量其產生的特征 X射線的波長和強度 。 工作原理 由 Moseley定律 λ=K/(Zσ)2 X射線特征譜線的波長和產生此射線的樣品材料的原子序數 Z有一確定的關系 (K為常數， σ為屏蔽系數 )。 又因為某種元素的特征 X射線強度與該元素在樣品中的濃度成比例，所以只要測出這種特征 X射線的強度，就可計算出該元素的相對含量。 樣品臺 樣 品 磁物透鏡 磁聚焦透鏡 ＣＣＤ 光學
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