電子探針顯微分析(2)-文庫吧資料
2025-05-06 01:47本頁面
【正文】 方向固定，即出射角 Ψ 保持不變，聚焦園園心 O 改變，這可使 X 射線穿出樣品表面過程中所走的路線相同也就是吸收條件相等11 ? 如圖示，分光晶體位置沿直線運動時晶體本身產(chǎn)生相應的轉(zhuǎn)動，從而使 ?和 ?滿足 Bragg條件。 全聚焦法顯然，只要改變晶體在聚焦園的位置，即可改變?nèi)肷浣?θ ， 從而可探測不同波長的 X 線。 近似聚焦方式 。 全聚焦法 顯然，只要改變晶體在聚焦圓的位置，即可改變?nèi)肷浣??，從而可探測不同波長的 X線。 ? 此時，如果晶體的位置固定，整個分光晶體只收集一種波長的 X射線，從而使這種單色 X射線的衍射強度大大提高。 7 波譜點分析結(jié)果 8 ? 上述平面分光晶體使譜儀的檢測效率非常低，表現(xiàn)在： 固定波長下，特定方向入射才可衍射 處處衍射條件不同 ? 要解決的問題是： 分光晶體表面處處滿足同樣的衍射條件 實現(xiàn)衍射束聚焦 9 ? 把分光晶體作適當?shù)膹椥詮澢?，并?X射線源、彎曲晶體表面和檢測器窗口位于同一個圓周上，就可以達到把衍射束聚焦的目的。6 . 波長分散譜儀（波譜儀 W DS ）1 ．工作原理分光晶體 1) 已知電子束入射樣品表面可激發(fā)出各個相應元素的特征 x線，沿各向發(fā)出，成為 點光源 。 ? 利用特征波長來確定元素的儀器稱為波長色散能譜儀（ WDS），利用特征能量的就稱為能量色散譜儀（ EDS）。 ?信號檢測系統(tǒng)是 X射線譜儀，對微區(qū)進行化學成分分析； ?波長分散譜儀或波譜儀（ WDS），用來測定特定波長的譜儀； ?能量分散譜儀或能譜儀（ EDS），用來測定 X射線特征能量的譜儀 電子光學系統(tǒng)
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