電子探針顯微分析(2)-資料下載頁
2025-04-30 01:47本頁面
【正文】 Si(Li)探頭必須保持在低溫態(tài)，因此必須時時用液氮冷卻。 19 20 電子探針的分析方法和應用 一是 定點分析 ，即對樣品表面選定微區(qū)作定點的全譜掃描，進行定性或半定量分析，并對其所含元素的質量分數進行定量分析； 二是 線掃描分析 ，即電子束沿樣品表面選定的直線軌跡進行所含元素質量分數的定性或半定量分析； 三是 面掃描分析 ，即電子束在樣品表面作光柵式面掃描，以特定元素的 X射線的信號強度調制陰極射線管熒光屏的亮度，獲得該元素質量分數分布的掃描圖像。 電子探針 X射線波譜儀及能譜分析有三種基本的工作方法： 21 ? 下圖給出了 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相與基體定點成分分析結果，可見析出相（ t相） Y2O3含量低，而基體 (c相 )Y2O3含量高，這和相圖是相符合的。 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相與基體的定點分析 (圖中數字為 Y2O3mol%) 22 ? 下圖給出 BaF2晶界線掃描分析的例子，圖 (a)為 BaF2晶界的形貌像和線掃描分析的位置，圖 (b)為 O和 Ba元素沿圖 (a)直線位置上的分布，可見在晶界上有 O的偏聚。 BaF2晶界的線掃描分析 (a)形貌像及掃描線位置； (b)O及 Ba元素在掃描線位置上的分布 23 ? 下圖給出 ZnOBi2O3陶瓷試樣燒結自然表面的面分布分析結果，可以看出 Bi在晶界上有嚴重偏聚。 ? ZnOBi2O3陶瓷燒結表面的面分布成分分析 (a)形貌像； (b)Bi元素的 X射線面分布像
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