和電子探針ppt課件-資料下載頁(yè)
2025-05-03 18:13本頁(yè)面
【正文】 檢測(cè)特征 X射線的能量p 目前最常用的是 Si(Li) X射線能譜儀，其關(guān)鍵部件是Si(Li)檢測(cè)器，即 鋰漂移硅固態(tài)檢測(cè)器 ，它實(shí)際上是一個(gè)以 Li為施主雜質(zhì)的 nip型二極管。Si(Li)檢測(cè)器探頭結(jié)構(gòu)示意圖微區(qū)成分分析（ EDS）38 Si(Li)能譜儀的特點(diǎn) 優(yōu)點(diǎn)： (1)定性分析速度快 可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的幾乎所有元素。 鈹窗口： 11Na~92U，新型材料窗口： 4Be~92U (2)靈敏度高 X射線收集立體角大，空間分辨率高。 (3)譜線重復(fù)性好 適合于表面比較粗糙的分析工作。 缺點(diǎn)： (1)能量分辨率低，峰背比低 。能譜儀的能量分辨率 (130eV)比波譜儀的能量分辨率 (5eV)低。(2)工作條件要求嚴(yán)格 。 Si(Li)探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)。 (3)定量分析精度不如波譜儀 。39 二、波譜儀 p 波長(zhǎng)分散（色散）譜儀簡(jiǎn)稱 波譜儀 ， WDS。 檢測(cè)特征 X射線的波長(zhǎng) p樣品被激發(fā)的特征 X射線照射到連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)的分光晶體上實(shí)現(xiàn)分光 (色散 )，即不同波長(zhǎng)的 X射線將在各自滿足布拉格方程的 2?方向上被 (與分光晶體以 2:1的角速度同步轉(zhuǎn)動(dòng)的 )檢測(cè)器接收。 41 波譜儀的特點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)： （ 1）波長(zhǎng)分辨率很高 如可將波長(zhǎng)十分接近的VK?()、 CrK?1()和CrK?2() 3根譜線清晰地分開； （ 2）分析的元素范圍寬 4Be~92U； （ 3）定量比能譜儀準(zhǔn)確。 缺點(diǎn) ： （ 1） X射線信號(hào)的利用率極低； （ 2）靈敏度低，難以在低束流和低激發(fā)強(qiáng)度下使用； （ 3）分析速度慢，不適合定性分析；能譜議和波譜儀的譜線比較(a)能譜曲線；(b)波譜曲線43 三、電子探針分析的基本工作方式 p 定點(diǎn)分析 ：對(duì)樣品表面選定微區(qū)作定點(diǎn)的全譜掃描， 進(jìn)行定性或半定量分析 ，并對(duì)其所含元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)進(jìn)行定量分析；p 線掃描分析 ：電子束沿樣品表面選定的直線軌跡進(jìn)行所含元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)的 定性或半定量分析；p 面掃描分析（ X射線成像 ） ：電子束在樣品表面作光柵式面掃描，以特定元素的 X射線的信號(hào)強(qiáng)度調(diào)制陰極射線管熒光屏的亮度，獲得該元素 質(zhì)量分?jǐn)?shù)分布的掃描圖像 。44 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相與基體的 定點(diǎn)分析Y2O3mol%析出相（ t相） Y2O3含量低 基體 (c相 )Y2O3含量高45 在晶界上有 O的偏聚BaF2晶界的 線掃描分析(a)形貌像及 掃描線位置 (b)O及 Ba元素在掃描線位置上的分布46 Bi在晶界上有嚴(yán)重偏聚ZnOBi2O3陶瓷燒結(jié)表面的 面分布成分分析(a)形貌像 (b)Bi元素的 X射線面分布像作業(yè)? 102? 103? 10
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