[理學(xué)]電子顯微與掃描探針相關(guān)技術(shù)-資料下載頁
2025-10-07 21:19本頁面
【正文】 、檢測(cè)的信息 。 ? 透射電子 應(yīng)用于 高倍 形貌像觀察， 高分辨率的原子，分子和 點(diǎn)陣格子像 的觀察，以及 電子衍射晶體結(jié)構(gòu) 的分析 。 (5) 背散射電子，二次電子，吸收電子和 透射電子的相互關(guān)系 ? 如果樣品 接地保持中性 ，那么 入射電子激發(fā) 樣品產(chǎn)生的 四種信號(hào)強(qiáng)度 與 入射電子強(qiáng)度 之間必然滿足以下關(guān)系： ib + is + ia + it =ip ib 是背散射電子信號(hào)強(qiáng)度； is 是二次電子信號(hào)強(qiáng)度； ia 是吸收電子（或樣品電流）信號(hào)強(qiáng)度； it 是透射電子強(qiáng)度 (ib/ip+is /ip +ia /ip +it /ip) = 1 ? 其中 ib/ip = η為背散射系數(shù) is/ip = δ為二次電子產(chǎn)額或發(fā)射系數(shù) ia/ip= α為吸收系數(shù) it/ip= τ 為透射系數(shù) 所以 α+δ+η+τ = 1， 當(dāng)樣品足夠厚時(shí)， τ = 0，因此 α+δ+η = 1 ? 所以說，吸收系數(shù)，背散射系數(shù)和電子發(fā)射系數(shù)三者之間存在著 互補(bǔ)的關(guān)系 。 幾種 X射線信息 ? 高速運(yùn)動(dòng)的電子束轟擊樣品時(shí)，還會(huì)產(chǎn)生一些 重要的 X射線信號(hào) 。 ? (1) 特征 X射線 電子束流 轟擊 固體樣品 時(shí)，除了引起 大量的價(jià)電子電離外 ，還會(huì)引起一定量的 內(nèi)層電子的激發(fā)或電離 ，使 原子 處于一種 能量較高 的 激發(fā)狀態(tài) 。 ? 這是 一種不穩(wěn)定 的狀態(tài)，較 外層的電子 會(huì)迅速填補(bǔ) 內(nèi)層電子 的 空位 ，使 原子的能量降低 而重新 恢復(fù)到穩(wěn)定的狀態(tài) 。 這種能級(jí)躍遷過程直接釋放 一種具有 特征能量 和特征波長(zhǎng)的電磁波 ，即 特征 X射線 。 ? 在 高能量的電子作用下 ，使原子 一個(gè) k層電子 電離，原子體系就處于 k層激發(fā)狀態(tài) ，此時(shí)較外層的電子都可能落到 那個(gè)空位上 ，并釋放 特征 X射線 。 ? 若 L層的電子落到 k空位上，釋放的特征 X射線稱作 kα。 ? 若 M → K，釋放的特征 X射線稱為 kβ. ? Kβ比 Kα能量高，波長(zhǎng)短。 ? 當(dāng) L 層電子被高能量的入射電子激發(fā)后，則會(huì)產(chǎn)生 L系特征 X射線。 如 Lα (M → L ),Lβ (N → L )等。 ? 電子探針分析中，主要用到 k系的 kα及 M系的 Mα等。 (2) 連續(xù) X射線 ? 連續(xù) X射線 或稱為 白色 X射線 ，它是由電子槍發(fā)射的 高速電子束轟擊 樣品時(shí) 突然改變速率 產(chǎn)生的。 ? 電子束 轟擊樣品，其中 有些電子 在 一次碰撞中 即被制止 ，從而 立刻釋放其所有的能量 。 (能量大 ) ? 而 大多數(shù)電子 則會(huì)和樣品的 原子碰撞多次 ，逐次喪失部分 動(dòng)能 ，直到 能量耗盡為止 。 (能量小 ) ? 所以當(dāng)大量具有 高速運(yùn)動(dòng)的電子束 撞擊到樣品上時(shí)，產(chǎn)生的 電磁脈沖 可以設(shè)想為 具有一系列連續(xù)波長(zhǎng)的電磁波總和 。 將這種 電磁脈沖 分解為 X射線波長(zhǎng) ，這些 波長(zhǎng)就具有連續(xù)分布的形式 。 ? 另外， 能量高 的 背散射電子 也會(huì) 碰撞樣品室內(nèi)壁產(chǎn)生一些 連續(xù)的 X射線 。 ? 連續(xù) X射線與特征 X射線產(chǎn)生的原理不同 ，在 電子探針的定量分析 中， 連續(xù) X射線造成的背景是 應(yīng)該扣除的 。 (3) X熒光射線 ? 高能量的 電子束 轟擊樣品會(huì)產(chǎn)生 特征 X射線 和連續(xù) X射線 。在 特征 X射線 從樣品中發(fā)射出來的過程中，有 一部分特征 X射線 會(huì) 激發(fā)另一些元素的內(nèi)層電子 而 產(chǎn)生 次級(jí)特征 X射線 。 ? 這種由 特征 X射線激發(fā)出來 的 二次特征 X射線 叫做 特征 X熒光射線 。 ? 從樣品中發(fā)射出來的 連續(xù) X射線 也會(huì)激發(fā)一些 二級(jí) X射線 ，叫做 連續(xù) X熒光射線 。 ? 產(chǎn)生過程見圖 。 電子探針定量分析 過程中必須考慮到 熒光 X射線效應(yīng) 的影響，進(jìn)行 熒光校正 。 XPS 俄歇譜 X射線熒光分析 謝 謝！
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