【材料課件】12掃描電子顯微鏡-資料下載頁(yè)
2025-02-13 18:56本頁(yè)面
【正文】 壓影響而直線進(jìn)入探測(cè)器 ， 所以有明顯的陰影效應(yīng) ， 呈象時(shí)顯示很強(qiáng)的襯度 ， 但會(huì)失去圖象的許多細(xì)節(jié) 。 如圖 。 3/1/2023 35 HNUZLP 3/1/2023 36 HNUZLP 二、背散射電子原子序數(shù)襯度原理 ?背散射電子產(chǎn)額隨原子序數(shù)增大而增多 ， 如圖 。在進(jìn)行圖象分析時(shí) ， 樣品中重元素區(qū)域背散射電子數(shù)量較多 ， 呈亮區(qū) ， 而輕元素區(qū)域則為暗區(qū) 。 3/1/2023 37 HNUZLP 三、背散射電子檢測(cè)器工作原理 ?背散射電子檢測(cè)器的工作原理如圖 。 A和 B表示一對(duì)半導(dǎo)體硅檢測(cè)器 ， 將二者收集到的信號(hào)進(jìn)行處理： ?二者相加 ， 得到成份象； ?二者相減，得到形貌象。 3/1/2023 38 HNUZLP 3/1/2023 39 HNUZLP 第六節(jié) 其它信號(hào)圖象 ?掃描電鏡圖象還有吸收電子象 、 掃描透射電子象 、 陰極熒光象和電子感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)象 ， 以及 X射線顯微分析等 。 ?吸收電子的產(chǎn)額與背散射電子相反 ， 樣品的原子序數(shù)越小 ，背散射電子越少 ， 吸收電子越多；反之樣品的原子序數(shù)越大 ，背散射電子越多 ， 吸收電子越少 。 因此 ， 吸收電子象的襯度是與背散射電子和二次電子象的襯度互補(bǔ)的 。 如圖為球墨鑄鐵的背散射電子和吸收電子象 。 ?電子感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)象是半導(dǎo)體器件所特有的 ， 常用來顯示半導(dǎo)體 、 絕緣體的表面形貌 、 晶體缺陷 、 微等離子體和 P－ N結(jié) 。 3/1/2023 40 HNUZLP 3/1/2023 41 HNUZLP 掃描電鏡操作演示 3/1/2023 42 HNUZLP 第七節(jié) 樣品制備 ?掃描電鏡樣品可以是塊狀 ， 也可以是粉末；樣品或樣品表面要求有良好的導(dǎo)電性 ， 對(duì)于導(dǎo)電性差或不導(dǎo)電的樣品 ， 需真空鍍膜 （ 鍍金 ） 。 ?專用掃描電鏡 ， 其樣品尺寸可以比較大：?25mm?20mm。 3/1/2023 43 HNUZLP 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH
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