電子顯微鏡修改ppt課件-資料下載頁
2025-01-15 04:39本頁面
【正文】 兩端偏壓來收集電子空穴對 → （前置放大器）轉換成電流脈沖 → （主放大器）轉換成電壓脈沖 → （后進入）多通脈沖高度分析器，按高度把脈沖分類，并計數(shù)，從而描繪 I－ E圖譜。 65 Si(Li)能譜儀的特點 優(yōu)點： (1)定性分析速度快 可在幾分鐘內分析和確定樣品中含有的幾乎所有元素。 鈹窗口： 11Na~92U，新型材料窗口： 4Be~92U (2)靈敏度高 X射線收集立體角大，空間分辨率高。 (3)譜線重復性好 適合于表面比較粗糙的分析工作。 缺點： (1)能量分辨率低，峰背比低 。能譜儀的能量分辨率 (130eV)比波譜儀的能量分辨率 (5eV)低。(2)工作條件要求嚴格 。 Si(Li)探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)。 (3)定量分析精度不如波譜儀 。66 二、波譜儀 p 組成：波譜儀主要由分光晶體和 X射線檢測系統(tǒng)組成。 p 原理：根據(jù)布拉格定律，從試樣中發(fā)出的特征 X射線，經過一定晶面間距的晶體分光，波長不同的特征 X射線將有不同的衍射角。通過連續(xù)地改變 θ，就可以在與 X射線入射方向呈 2 θ的位置上測到不同波長的特征 X射線信號。根據(jù)莫塞萊定律可確定被測物質所含有的元素 68 波譜儀的特點：優(yōu)點： （ 1）波長分辨率很高 如，它可將波長十分接近的VK?()、 CrK?1()和CrK?2()3根譜線清晰地分開； （ 2）分析的元素范圍寬 4Be~92U； （ 3）定量比能譜儀準確。 缺點 ： （ 1） X射線信號的利用率極低； （ 2）靈敏度低，難以在低束流和低激發(fā)強度下使用； （ 3）分析速度慢，不適合定性分析；69 能譜議和波譜儀的譜線比較能譜曲線 波譜曲線70 三、電子探針分析的基本工作方式 p 定點分析 ：將電子束固定在要分析的微區(qū)上，用波譜儀分析時，改變分光晶體和探測器的位置，即可得到分析點的X射線譜線；用能譜儀分析時，幾分鐘內即可直接從熒光屏（或計算機）上得到微區(qū)內全部元素的譜線。鎂合金中的析出相 CaMgSi的鑒別 Spectrum1 位置析出相富含 Ca、 Mg、 Si元素 71 三、電子探針分析的基本工作方式 p 線掃描分析 ：將譜儀（波、能）固定在所要測量的某一元素特征 X射線信號（波長或能量）的位置，把電子束沿著指定的方向作直線軌跡掃描，便可得到這一元素沿直線的濃度分布情況。 改變位置可得到另一元素的濃度分布情況。 p 面掃描分析（ X射線成像 ） ：電子束在樣品表面作光柵掃描，將譜儀（波、能）固定在所要測量的某一元素特征X射線信號（波長或能量）的位置，此時，在熒光屏上得到該元素的面分布圖像。 改變位置可得到另一元素的濃度分布情況。也是用 X射線調制圖像的方法。 鎂合金中的析出相 Mg2Si的鑒別 Si的元素面分布圖，可以清晰地看到 Mg2Si所在的位置 73 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相與基體的 定點分析Y2O3mol%析出相（ t相） Y2O3含量低 基體 (c相 )Y2O3含量高 與相圖相符74 在晶界上有 O的偏聚BaF2晶界的 線掃描分析(a)形貌像及 掃描線位置 (b)O及 Ba元素在掃描線位置上的分布75 Bi在晶界上有嚴重偏聚ZnOBi2O3陶瓷燒結表面的 面分布成分分析(a)形貌像 (b)Bi元素的 X射線面分布像76 Preparation of nanotubeshaped TiO2 powder XRD， TEM， ED， SEM的應用實例77 TiO2隨溫度的相變anatase銳鈦礦rutile金紅石78 100℃ 消解 12小時銳鈦礦 —— 納米管 金紅石 —— 不形成納米管79 納米管的形成與溫度的關系未消解 100 ℃150 ℃ 200 ℃80 選區(qū)電子衍射 SAD1．理解掃描電子顯微鏡的工作原理、結構與組成，掌握表征儀器性能的主要技術指標。2．熟悉掃描電子顯微鏡的樣品制備方法。3．掌握二次電子像、背散射電子像的像襯原理、特點、分析方法及應用；了解其它電子像的像襯原理、特點、分析方法及應用。4．了解波譜儀和能譜儀的工作原理，掌握它們的應用特點。5．電子探針的點分析、線分析和面分析的應用本章要
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