【材料課件】12掃描電子顯微鏡(已改無錯(cuò)字)
2023-03-04 18:56:55 本頁(yè)面
【正文】 屏尺寸 S2是固定的 ， 因此其放大倍數(shù)的變化是通過改變電子束在試樣表面掃描距離 S1來實(shí)現(xiàn)的 。一般放大倍數(shù)在 20～ 20萬倍之間 ， 且連續(xù)可調(diào) 。 ?將樣品細(xì)節(jié)放大到人眼剛能看清楚 （ 約 ） 的放大倍數(shù)稱為有效放大倍數(shù) M有效 ： M有效 ＝人眼分辨本領(lǐng)／儀器分辨本領(lǐng) 3/1/2023 26 HNUZLP 三．主要儀器 3/1/2023 27 HNUZLP 第四節(jié) 二次電子圖象襯度原理 ?二次電子成象原理 ?二次電子形貌襯度的應(yīng)用 3/1/2023 28 HNUZLP 一、二次電子成象原理 ?二次電子圖象反映試樣表面狀態(tài) ， 二次電子產(chǎn)額強(qiáng)烈地依賴于入射束與試樣表面法線之間的夾角 ?: 二次電子產(chǎn)額 ? 1/cos? 即 ?角大的地方出來的二次電子多 ， 呈亮象； ?角小的地方出來的電子少 ， 呈暗象 ， 如圖 。 3/1/2023 29 HNUZLP 3/1/2023 30 HNUZLP 3/1/2023 31 HNUZLP ?二次電子象是一種無影象 ， 這對(duì)觀察復(fù)雜表面形貌是有益的 。 如果樣品是半導(dǎo)體器件 ， 在加電情況下 ， 由于表面電位分布不同也會(huì)引起二次電子量的變化 ， 即二次電子象的反差與表面電位分布有關(guān) 。 這種由于表面電位分布不同而引起的反差 ， 稱為二次電子象電壓反差 ， 利用電壓反差效應(yīng)研究半導(dǎo)體器件的工作狀態(tài) （ 如導(dǎo)通 、 短路 、 開路等 ） 是很有效的 。 3/1/2023 32 HNUZLP 二、二次電子形貌襯度的應(yīng)用 ?斷口分析 ?沿晶斷口 ?韌窩斷口 ?解理斷口 ?纖維增強(qiáng)復(fù)合材料斷口 ?表面形貌分析 ?材料變形與斷裂動(dòng)態(tài)過程的原位觀察 3/1/2023 33 HNUZLP 第五節(jié) 背散射電子圖象襯度原理 ?背散射電子形貌襯度特點(diǎn) ?背散射電子原子序數(shù)襯度原理 ?背散射電子檢測(cè)器工作原理 3/1/2023 34 HNUZLP 一、背散射電子形貌襯度特點(diǎn) ?背散射電子能量較高 ， 多數(shù)與入射電子能量相近 。 在掃描電鏡中通常共用一個(gè)檢測(cè)器檢測(cè)二次電子和背散射電子 ， 通過改變檢測(cè)器加電情況 ， 可實(shí)現(xiàn)背散射電子選擇檢測(cè) ， 由于背散射電子基本上不受收集柵電
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