電子顯微鏡第五章掃描電子顯微術(shù)(1)-資料下載頁(yè)
2025-01-08 03:51本頁(yè)面
【正文】 ?真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，防止樣品污染，提供高的真空度，一般情況下要求保持 104105mmHg的真空度。 ? 電源系統(tǒng)由穩(wěn)壓，穩(wěn)流及相應(yīng)的安全保護(hù)電路所組成，其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。 掃描電鏡的分辨率有兩重意義：對(duì)微區(qū)成分而言，它是指能分析的最小區(qū)域；對(duì)成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)之間的最小距離。 分辨率大小由入射電子束直徑和調(diào)制信號(hào)類(lèi)型共同決定。 第四節(jié) SEM的主要性能 主要影響因素 ?電子束斑直徑 ?入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng) ?成像所用信號(hào)的種類(lèi) 背散射電子分辨率 ?掃描電鏡的放大倍率 M取決于顯像管熒光屏尺寸 S2和入射束在試樣表面掃描距離 S1之比，即 ?由于掃描電鏡的熒光屏尺寸是固定不變的 ， 因此 ， 放大倍率的變化是通過(guò)改變電子束在試樣表面的掃描幅度來(lái)實(shí)現(xiàn)的 。 12SSM ? ?透鏡物平面允許的軸向偏差 。 ?掃描電鏡的末級(jí)透鏡采用小孔徑角 ， 可獲得很大的景深 ， 它比一般光學(xué)顯微鏡景深大 100500倍 。 Df 透鏡 象平面 d0 α ???? 00t a nddDf物平面 Md0 ?大的景深不僅使聚焦變得容易，而且對(duì)于凹凸不平的樣品仍然獲得清晰的像，從而增強(qiáng)了像的立體感，使圖象易于分析。這也是掃描電鏡的一大優(yōu)點(diǎn)。 ?SEM對(duì)樣品的適應(yīng)性大； ?樣品應(yīng)具適當(dāng)大??； ?樣品表面應(yīng)具良好導(dǎo)電性，以防表面積累電荷而影響成像； ?SEM制樣技術(shù)中常用真空蒸發(fā)和離子濺射鍍膜法； ?樣品表面保持干凈、干燥，避免擦傷。 第五節(jié) SEM的試樣制備
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