電子顯微鏡第五章掃描電子顯微術(shù)(1)-在線瀏覽
2025-02-25 03:51本頁面
【正文】 ?在掃描電鏡中 ， 電子槍發(fā)射出來的電子束 ， 經(jīng)電磁透鏡聚焦后 ， 成直徑很小的電子束 。 試樣在電子束作用下 ，激發(fā)出各種信號 ， 信號的強度取決于試樣表面的形貌 、 受激區(qū)域的成分和晶體取向 。 第二節(jié) SEM的工作原理 ?值得強調(diào)的是，入射電子束在試樣表面上是逐點掃描的，像是逐點記錄的，因此試樣各點所激發(fā)出來的各種信號都可記錄下來。 第三節(jié) SEM的構(gòu)造 Configuration of a scanning electron microscope Objective Movable Aperture Model S3000N Specimen Stage CRT Electron Gun SE Detector Specimen Chamber SE Detector CRT Camera Amplifier Image Signal 電子光學系統(tǒng) 真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng) 信號接收及圖象顯示系統(tǒng) ?電子光學系統(tǒng)由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。 ?為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率，掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。 場發(fā)射電子槍 第一陽極 第二陽極 V1 V0 場發(fā)射尖端 FE Tip Tungsten Filament 750μ m Electron Source Type of Emission Operating Vacum (Pa) Brightness (A/cm2?str) Source Size (μ m) Energy Spread (eV) Life Time (h) Tungsten Filament Thermonic Field Emission Cold FE 105
教學課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1