電子顯微鏡第五章掃描電子顯微術(shù)(1)(完整版)
【正文】 ctron Gun SE Detector Specimen Chamber SE Detector CRT Camera Amplifier Image Signal 電子光學(xué)系統(tǒng) 真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng) 信號(hào)接收及圖象顯示系統(tǒng) ?電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。在高原子序數(shù)樣品中，激發(fā)區(qū)域是一個(gè)半球形區(qū)域。 最終那些能量大于表面逸出功的入射電子從樣品表面發(fā)射出去 ， 這部分電子稱為 非彈性背散射電子 。深度之間 。 ? 掃描電鏡具有很大的焦深 。 ? 能在很大的放大倍數(shù)范圍工作 ， 從幾倍到幾十萬(wàn)倍 ， 相當(dāng)于從放大鏡到透射電鏡的放大范圍 。 第一節(jié) 電子與固體樣品作用時(shí) 產(chǎn)生的信號(hào) （ SE） 入射電子與樣品的核外電子碰撞，使后者脫離原子變成自由電子。 ?彈性背散射電子 ，只改變了運(yùn)動(dòng)方向，本身能量基本上沒(méi)有損失，其能量基本等于入射電子的初始能量。 隨電子束進(jìn)入樣品的深度的不斷增加 ， 入射電子的分布范圍不斷增大 。 這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收 ， 經(jīng)放大器放大后送到顯像管的柵極上 ， 調(diào)制顯像管的亮度 。 ?電磁透鏡 ?掃描線圈 ?使電子束偏轉(zhuǎn) ， 并在樣品表面作有規(guī)則的掃動(dòng) 。它能進(jìn)行三維空間的移動(dòng)，還能傾斜和轉(zhuǎn)動(dòng)。 掃描電鏡的分辨率有兩重意義：對(duì)微區(qū)成分而言，它是指能分析的最小區(qū)域；對(duì)成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)之間的最小距離。 第五節(jié) SEM的試樣制備 。 第四節(jié) SEM的主要性能 主要影響因素 ?電子束斑直徑 ?入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng) ?成像所用信號(hào)的種類 背散射電子分辨率 ?掃描電鏡的放大倍率 M取決于顯像管熒光屏
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