電子顯微鏡第五章掃描電子顯微術(shù)(1)(編輯修改稿)
2025-02-04 03:51 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 成直徑很小的電子束 。 置于末級(jí)透鏡上部的掃描線圈能使電子束在試樣表面上做光柵狀掃描 。 試樣在電子束作用下 ，激發(fā)出各種信號(hào) ， 信號(hào)的強(qiáng)度取決于試樣表面的形貌 、 受激區(qū)域的成分和晶體取向 。 這些信號(hào)被相應(yīng)的接收器接收 ， 經(jīng)放大器放大后送到顯像管的柵極上 ， 調(diào)制顯像管的亮度 。 第二節(jié) SEM的工作原理 ?值得強(qiáng)調(diào)的是，入射電子束在試樣表面上是逐點(diǎn)掃描的，像是逐點(diǎn)記錄的，因此試樣各點(diǎn)所激發(fā)出來(lái)的各種信號(hào)都可記錄下來(lái)。給試樣的綜合分析帶來(lái)極大的方便。 第三節(jié) SEM的構(gòu)造 Configuration of a scanning electron microscope Objective Movable Aperture Model S3000N Specimen Stage CRT Electron Gun SE Detector Specimen Chamber SE Detector CRT Camera Amplifier Image Signal 電子光學(xué)系統(tǒng) 真空系統(tǒng)和供電系統(tǒng) 信號(hào)接收及圖象顯示系統(tǒng) ?電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成。其作用是用來(lái)獲得掃描電子束，作為產(chǎn)生物理信號(hào)的激發(fā)源。 ?為了獲得較高的信號(hào)強(qiáng)度和圖像分辨率，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。 ?電子槍 熱陰極電子槍 其作用是利用陰極與陽(yáng)極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束。 場(chǎng)發(fā)射電子槍 第一陽(yáng)極 第二陽(yáng)極 V1 V0 場(chǎng)發(fā)射尖端 FE Tip Tungsten Filament 750μ m Electron Source Type of Emission Operat
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