掃描電子顯微鏡與電子探針?lè)治鲑Y料(編輯修改稿)
2025-01-20 05:38 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 束在樣品表面的掃描振幅，從而改變掃描像的放大倍數(shù)。 24④ 樣品室 功 能：放置樣品，安裝信號(hào)探測(cè)器；各種信號(hào)的收集和相應(yīng)的探測(cè)器的位置有很大關(guān)系?！ ? 樣品臺(tái)本身是復(fù)雜而精密的組件，能進(jìn)行平移、傾斜和轉(zhuǎn)動(dòng)等運(yùn)動(dòng)。 新式電鏡的樣品室是個(gè)微型試驗(yàn)室，帶有各種附件，可使樣品在樣品臺(tái)上加熱、冷卻和進(jìn)行機(jī)械性能試驗(yàn)。（拉伸、疲勞）25 (2) 信號(hào)收集和顯示系統(tǒng) ?? ?? 掃描電鏡應(yīng)用的物理信號(hào)可分為： 1) 電子信號(hào)，包括二次電子、背散射電子、透射電子和吸收電子。吸收電子可直接用電流表測(cè)，其他電子信號(hào)用電子收集器； 2) 特征 X射線(xiàn)信號(hào)，用 X射線(xiàn)譜儀檢測(cè)； 3) 可見(jiàn)光訊號(hào)（陰極熒光），用可見(jiàn)光收集器。 26 常見(jiàn)的電子收集器是由閃爍體、光導(dǎo)管和光電倍增管組成的部件。 信號(hào)電子進(jìn)入閃爍體即引起電離，當(dāng)離子和自由電子復(fù)合后產(chǎn)生可見(jiàn)光。可見(jiàn)光信號(hào)通過(guò)光導(dǎo)管送入光電倍增器，光信號(hào)放大，即又轉(zhuǎn)化成電流信號(hào)輸出，電流信號(hào)經(jīng)視頻放大后就成為調(diào)制信號(hào)。 27 這一系統(tǒng)的作用是將信號(hào)收集器輸出的信號(hào)成比例地轉(zhuǎn)換為陰極射線(xiàn)顯像管電子束強(qiáng)度的變化，這樣就在熒光屏上得到一幅與樣品掃描點(diǎn)產(chǎn)生的某一種物理訊號(hào)成正比例的亮度變化的掃描像，同時(shí)用照相方式記錄下來(lái)，或用數(shù)字化形式存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)中。2829(3)真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng) 掃描電鏡的真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)的作用與透射電鏡的相同。 ? 為保證電子光學(xué)系統(tǒng)的正常工作，對(duì)鏡筒真空度有一定要求。 要求真空度 102～ 103pa （104105mmHg） 30掃描電鏡的主要性能分辨率 放大倍數(shù) 景深 31（ 1）分辨能力? 對(duì)微區(qū)成分分析而言，它是指能分析的最小區(qū)域；對(duì)成像而言，它是指能分辨兩點(diǎn)之間的最小距離。? 入射電子束束斑直徑? 入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)? 成像方式及所用的調(diào)制信號(hào) ? 二次電子像的分辨率約為 46nm，最好的現(xiàn)在達(dá)到 。 X射線(xiàn)的深度和廣度都遠(yuǎn)較背反射電子的發(fā)射范圍大，所以 X射線(xiàn)圖像的分辨率遠(yuǎn)低于二次電子像和背反射電子像。32SEM的分辨率高低與 檢測(cè) 信號(hào)種 類(lèi) 有關(guān)。信 號(hào) 二次 電
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