材料科學(xué)分析技術(shù)(掃描電子顯微鏡)(編輯修改稿)
2025-01-18 21:01 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 功 能：放置樣品，安裝信號探測器；各種信號的收集和相應(yīng)的探測器的位置有很大關(guān)系。 樣品臺本身是復(fù)雜而精密的組件，能進(jìn)行平移、傾斜和轉(zhuǎn)動等運動。 新式電鏡的樣品室是個微型試驗室，帶有各種附件，可使樣品在樣品臺上加熱、冷卻和進(jìn)行機(jī)械性能試驗。（拉伸、疲勞） 26 (2) 信號收集和顯示系統(tǒng) 掃描電鏡應(yīng)用的物理信號可分為：1) 電子信號，包括二次電子、背散射電子、透射電子和吸收電子。吸收電子可直接用電流表測，其他電子信號用電子收集器； 2) 特征 X射線信號，用 X射線譜儀檢測； 3) 可見光訊號（陰極熒光），用可見光收集器。 27 常見的電子收集器是由閃爍體、光導(dǎo)管和光電倍增管組成的部件。 信號電子進(jìn)入閃爍體即引起電離，當(dāng)離子和自由電子復(fù)合后產(chǎn)生可見光?？梢姽庑盘柾ㄟ^光導(dǎo)管送入光電倍增器，光信號放大，即又轉(zhuǎn)化成電流信號輸出，電流信號經(jīng)視頻放大后就成為調(diào)制信號。 28 這一系統(tǒng)的作用是將信號收集器輸出的信號成比例地轉(zhuǎn)換為陰極射線顯像管電子束強(qiáng)度的變化，這樣就在熒光屏上得到一幅與樣品掃描點產(chǎn)生的某一種物理訊號成正比例的亮度變化的掃描像，同時用照相方式記錄下來，或用數(shù)字化形式存儲于計算機(jī)中。 29 30 (3)真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng) 掃描電鏡的真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)的作用與透射電鏡的相同。 為保證電子光學(xué)系統(tǒng)的正常工作，對鏡筒真空度有一定要求。 要求真空度 102～ 103pa （ 104105mmHg） 31 掃描電鏡的主要性能 分辨率 放大倍數(shù) 景深 32 （ 1）分辨能力 ? 對微區(qū)成分分析而言，它是指能分析的最小區(qū)域；對成像而言，它是指能分辨兩點之間的最小距離。 ? 入射電子束束斑直徑 ? 入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng) ? 成像方式及所用的調(diào)制信號 ? 二次電子像的分辨率約為 46nm，最好的現(xiàn)在達(dá)到 。 X射線的深度和廣度都遠(yuǎn)較背反射電子的發(fā)射范圍大，所以 X射線圖像的分辨率遠(yuǎn)低于二次電子像和背反射電子像。 33 SEM的分辨率高低與檢測信號種類有關(guān)。 信 號 二次電子 背散射電子 吸收電子 特征 X射線 俄歇電子 分辨率 5～ 10 50～ 200 100～ 1000 100～ 1000 5～
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