電子顯微鏡第五章掃描電子顯微術(shù)(1)(已修改)
2025-01-20 03:51 本頁面
【正文】 第五章 掃描電子顯微術(shù) (SEM) SEM的特點 ? 樣品制備較簡單 ， 甚至可以不作任何處理 。 并且樣品可以很大 ， 如直徑可達(dá) 10cm以上 。 ? 能在很大的放大倍數(shù)范圍工作 ， 從幾倍到幾十萬倍 ， 相當(dāng)于從放大鏡到透射電鏡的放大范圍 。 以致使用者可以首先概觀整個樣品 ， 然后迅速轉(zhuǎn)換到觀察某些選擇的結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié) ， 這給觀察帶來很大的方便 。 ? 具有相當(dāng)?shù)姆直媛?， 一般為 26nm， 最高可達(dá) 。 ? 掃描電鏡具有很大的焦深 。 因而對于復(fù)雜而粗糙的樣品表面 ， 仍然可得清晰聚焦的圖像 。 圖像富有立體感 、 真實感 、 易于識別和解釋 。 ? 可進(jìn)行多種功能的分析 。 如可與 X 射線譜儀配接 ， 可在觀察形貌的同時 進(jìn)行微區(qū)成分分析 。 第一節(jié) 電子與固體樣品作用時 產(chǎn)生的信號 （ SE） 入射電子與樣品的核外電子碰撞，使后者脫離原子變成自由電子。那些接近樣品表層且能量大于材料逸出功的自由電子可從表面逸出，成為二次電子。 二次電子的強度 樣品表面下深度 ?二次電子能量大致在0~30eV之間 ， 多數(shù)來自表面層下部 5~50197。深度之間 。 ?二次電子信號對試樣表面形貌非常敏感。二次電子所成的二次電子像可反映樣品表面形貌 。 0 20 40 60 80 2 4 6 8 10 接收的二次電子 ? 二次電子收得數(shù)與入射束 試樣面法線間夾角分布曲線 ?二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒明顯依賴關(guān)系，所以不能用它來進(jìn)行成分分析。 （ BSE） 背散射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子，其中包括 彈性背散射電子 和 非彈性背散射電子 。 ?彈性背散射電子 ，只改變了運
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