電子顯微鏡 第五章 掃描電子顯微術(shù)(1)-文庫(kù)吧
2024-12-24 03:51 本頁(yè)面
【正文】 動(dòng)方向，本身能量基本上沒有損失，其能量基本等于入射電子的初始能量。能達(dá)到數(shù)千到數(shù)萬(wàn)電子伏。 ?進(jìn)入樣品后的部分入射電子在與原子核 、核外電子發(fā)生多次 非彈性散射 ， 在連續(xù)改變前進(jìn)方向的同時(shí) ， 也有不同程度的能量損失 。 最終那些能量大于表面逸出功的入射電子從樣品表面發(fā)射出去 ， 這部分電子稱為 非彈性背散射電子 。 非彈性背散射電子的能量范圍很寬 ， 從數(shù)十電子伏到數(shù)千電子伏 。 100 10,000 1 Energy of Electron (eV) Quantity of Electrons (Incident beam energy : 10,000eV) 二次 電 子 彈性背散射電子 非彈性背散射電子 ? 從數(shù)量上看，彈性背散射電子遠(yuǎn)比非彈性背散射電子 所占的份額多。 ?背散射電子信號(hào)可以顯示表面形貌，還可以進(jìn)行定性成分分析 。 ?背散射電子的產(chǎn)額與樣品的原子序數(shù)和傾斜角的關(guān)系 產(chǎn)額 傾斜角 ?入射電子打到樣品上 ， 受原子散射 ， 偏離原來(lái)入射方向 。 隨電子束進(jìn)入樣品的深度的不斷增加 ， 入射電子的分布范圍不斷增大 。 入射電子在試樣表面下某個(gè)范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng) ， 不斷散射 ， 并激發(fā)各種信號(hào) ， 這些信號(hào)產(chǎn)生的空間范圍不同 ， 它們的能量各不相同 。 入射電子在樣品內(nèi)產(chǎn)生的各種信號(hào)的深度 (Z)和廣度 (R) ?對(duì)于一般元素而言，電子束與試樣作用，激發(fā)區(qū)域是一個(gè)梨形作用區(qū)。在高原子序數(shù)樣品中，激發(fā)區(qū)域是一個(gè)半球形區(qū)域。 ?改變電子能量只引起作用體積大小的變化，而不會(huì)顯著地改變形狀。 1kV 2kV 3kV 10 20 30 40 50 (nm) ?在掃描電鏡中 ， 電子槍發(fā)射出來(lái)的電子束 ， 經(jīng)電磁透鏡聚焦后 ，
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