掃描電子顯微鏡與電子探針分析資料-文庫吧
2024-12-23 05:38 本頁面
【正文】 EM低；在 SEM中加速電壓一般在 200V 到 50 kV范圍內(nèi)。 3） 樣品不需要復(fù)雜的準(zhǔn)備過程，制樣非常簡單。11掃描電鏡的特點(diǎn)? A、電子束在樣品表面掃描? B、用于觀察樣品的形貌（具有立體感）? C、通過電子束激發(fā)樣品的特征 X射線獲取樣品的成分信息。較高的分辨率和很大的景深清晰地顯示粗糙樣品的表面形貌以多種方式給出微區(qū)成份等信息，用來觀察斷口表面微觀形態(tài)，分析研究斷裂的原因和機(jī)理等 12◆ EM能彌補(bǔ)透射電鏡樣品制備要求 很高的缺點(diǎn) 。 ◆ 景深大 。 ◆ 放大倍數(shù)連續(xù)調(diào)節(jié)范圍大 。 ◆ 分辨本領(lǐng)比較高；13◆ 樣品制備非常方便◆ 可直接觀察大塊試樣◆ 固體材料樣品表面和界面分析◆ 適合于觀察比較粗糙的表面： 材料斷口和顯微組織三維形態(tài)1415161718掃描電鏡的結(jié)構(gòu) 19掃描電鏡由六個系統(tǒng)組成(1) 電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒）(2) 信號收集系統(tǒng)(3) 圖像顯示和記錄系統(tǒng)(4) 真空系統(tǒng) (5) 電源系統(tǒng)20 (1)電子光學(xué)系統(tǒng) 由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。它的作用是將來自電子槍的電子束聚焦成亮度高、直徑小的入射束 (直徑一般為 10nm或更小)來轟擊樣品，使樣品產(chǎn)生各種物理信號。 ??21? ① 電子槍? SEM 中的電子槍與 TEM中的相似，但加速電壓比 tem 低? SEM中束斑越小，即成像單元越小，相應(yīng)的分辨率就愈高。? 熱陰極電子槍 束斑可達(dá) 6nm ? 六硼化鑭和場發(fā)射電子槍，束斑更小 22? ② 電磁透鏡? 功 能： 聚焦電子槍束斑，使 50 ?m → 數(shù) nm斑點(diǎn)。一般有三級透鏡。 ? 前二者是強(qiáng)透鏡，可把電子束光斑縮小。 ? 第三個是弱透鏡，具有較長的焦距，習(xí)慣于叫物鏡，其目的在于使樣品和透鏡之間留有一定空間以裝入各種信號探測器 ? SEM中束斑越小，即成像單元越小，相應(yīng)的分辨率就愈高。 23③ 掃描系統(tǒng) ?? 掃描系統(tǒng)是掃描電鏡的特殊部件，它由掃描發(fā)生器和掃描線圈組成。它的作用是： 1) 使入射電子束在樣品表面掃描，并使陰極射線顯像管電子束在熒光屏上作同步掃描； 2) 改變?nèi)肷?
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