探針方法測電阻率ppt課件-資料下載頁
2025-05-05 18:45本頁面
【正文】 阻率值。關(guān)如果 “177?！睒O性發(fā)出閃爍信號，則測量數(shù)值已超過此電壓量程，應(yīng)將電壓量程開關(guān)撥到更高檔，讀數(shù)后退出電流開關(guān)，數(shù)字顯示恢復(fù)到零位。每次更換電壓、電流量程均要重復(fù) 3?5步驟。五 注意事項(xiàng)電流量程開關(guān)與電壓量程開關(guān)必須放在下表所列的任一組對應(yīng)的量程電壓量程2V 200mV20mV2mVmV電流量程100mA10mA1mA100μA10μA 電阻（ V/I）測量，用四端測量夾換下回探針測試架，按下圖接好樣品，選擇合適的電壓電流量程，電流值調(diào)到 ，讀出數(shù)值為實(shí)際測量的電阻值。方塊電阻測量，電流調(diào)節(jié)在 ，讀出數(shù)值 ?10倍為實(shí)際的方塊電阻值。薄片電阻率測量：當(dāng)薄片厚度 ，按公式（ 3）進(jìn)行；當(dāng)薄片厚度 時(shí)，按公式（ 4）進(jìn)行。 儀器在中斷測量時(shí)應(yīng)將工作選擇開關(guān)置于“短路 ”；電流開關(guān)置于彈出斷開位置。六 技術(shù)參數(shù)１．測量范圍 電阻率： 104~103Ω–cm；方塊電阻： 103~104Ω；電阻： 106~105Ω；２．四探針測試探頭：探針間距：１ mm；游移率： 177。%；探針：碳化鎢 壓力： 0~2kg可調(diào)。
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