[高等教育]8_擴(kuò)展電阻法測硅片微區(qū)電阻率變化-資料下載頁
2025-08-21 16:12本頁面
【正文】 樣品的磨角器放置其上，用輕力進(jìn)行研磨，使研磨的斜面與原始表面的交線成一明顯的直線，估計(jì)磨出的斜面正好包含需測試的深度為止。有丙酮擦去樣品表面的白蠟，然后用乙醇將研磨過的表面擦凈，注意不要沾水，處理凈潔后，把樣品放置在樣品臺上準(zhǔn)備測量。（3）調(diào)整樣品臺，使樣品斜面與原始表面的交線平行于樣品臺上x軸上。用顯微鏡觀察，調(diào)整樣品臺，是兩根探針針尖正好能壓在斜面與表面的交線上，既定好測量第一點(diǎn)的起始位置。（4）讀出電壓表讀數(shù)，計(jì)算電阻率。五、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)與處理1．計(jì)算每個樣品上20次的擴(kuò)展電阻測量的平均值，檢驗(yàn)其電阻率的均勻性；2．雙對數(shù)坐標(biāo)紙上畫出定標(biāo)曲線； 3．依據(jù)計(jì)算結(jié)果鑒定樣品的結(jié)構(gòu)。六、注意事項(xiàng) 1．測試時(shí)一定不要用手直接碰觸標(biāo)準(zhǔn)樣品，應(yīng)該帶好一次性塑料手套后再進(jìn)行操作，以免對硅片的污染和破壞； 2．計(jì)算不同樣品的U、I值時(shí)，應(yīng)等到示值穩(wěn)定之后再進(jìn)行記錄； 3．硅片易碎，樣品開封和裝盒時(shí)應(yīng)輕拿輕放。七、思考題 1．?dāng)U展電阻法測量硅片微區(qū)電阻率的基本原理？ 2．分析討論測量方案中對測試精確度有較大影響的因素？ 3．在樣品處理時(shí)，應(yīng)加熱磨角器中的樣品座，并在其斜面上涂少許白蠟，把樣品按測量位置貼在斜面上，為什么需要涂少許白蠟？62
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