掃描電子顯微鏡與電子探針?lè)治鲑Y料-文庫(kù)吧資料
2025-01-06 05:38本頁(yè)面
【正文】 直徑? 入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)? 成像方式及所用的調(diào)制信號(hào) ? 二次電子像的分辨率約為 46nm，最好的現(xiàn)在達(dá)到 。 ? 為保證電子光學(xué)系統(tǒng)的正常工作，對(duì)鏡筒真空度有一定要求。 27 這一系統(tǒng)的作用是將信號(hào)收集器輸出的信號(hào)成比例地轉(zhuǎn)換為陰極射線顯像管電子束強(qiáng)度的變化，這樣就在熒光屏上得到一幅與樣品掃描點(diǎn)產(chǎn)生的某一種物理訊號(hào)成正比例的亮度變化的掃描像，同時(shí)用照相方式記錄下來(lái)，或用數(shù)字化形式存儲(chǔ)于計(jì)算機(jī)中。 信號(hào)電子進(jìn)入閃爍體即引起電離，當(dāng)離子和自由電子復(fù)合后產(chǎn)生可見光。吸收電子可直接用電流表測(cè)，其他電子信號(hào)用電子收集器； 2) 特征 X射線信號(hào)，用 X射線譜儀檢測(cè)； 3) 可見光訊號(hào)（陰極熒光），用可見光收集器。 新式電鏡的樣品室是個(gè)微型試驗(yàn)室，帶有各種附件，可使樣品在樣品臺(tái)上加熱、冷卻和進(jìn)行機(jī)械性能試驗(yàn)。 24④ 樣品室 功 能：放置樣品，安裝信號(hào)探測(cè)器；各種信號(hào)的收集和相應(yīng)的探測(cè)器的位置有很大關(guān)系。 23③ 掃描系統(tǒng) ?? 掃描系統(tǒng)是掃描電鏡的特殊部件，它由掃描發(fā)生器和掃描線圈組成。 ? 前二者是強(qiáng)透鏡，可把電子束光斑縮小。? 熱陰極電子槍 束斑可達(dá) 6nm ? 六硼化鑭和場(chǎng)發(fā)射電子槍，束斑更小 22? ② 電磁透鏡? 功 能： 聚焦電子槍束斑，使 50 ?m → 數(shù) nm斑點(diǎn)。它的作用是將來(lái)自電子槍的電子束聚焦成亮度高、直徑小的入射束 (直徑一般為 10nm或更小)來(lái)轟擊樣品，使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)。 ◆ 放大倍數(shù)連續(xù)調(diào)節(jié)范圍大 。較高的分辨率和很大的景深清晰地顯示粗糙樣品的表面形貌以多種方式給出微區(qū)成份等信息，用來(lái)觀察斷口表面微觀形態(tài)，分析研究斷裂的原因和機(jī)理等 12◆ EM能彌補(bǔ)透射電鏡樣品制備要求 很高的缺點(diǎn) 。 3） 樣品不需要復(fù)雜的準(zhǔn)備過(guò)程，制樣非常簡(jiǎn)單。 10? 從以上的 SEM原理我們可以知道，它與 TEM的主要區(qū)別： 1） 在 SEM中電子束并不像 TEM中一樣是靜態(tài)的：在掃描線圈產(chǎn)生的電磁場(chǎng)的作用下，細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描。9 供給電子光學(xué)系統(tǒng)使電子束偏向的掃描線圈的電源也是供給陰極射線顯像管的掃描線圈的電源，此電源
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