電子顯微鏡第五章掃描電子顯微術(shù)(1)-文庫吧資料
2025-01-14 03:51本頁面
【正文】 。 置于末級透鏡上部的掃描線圈能使電子束在試樣表面上做光柵狀掃描 。 ?改變電子能量只引起作用體積大小的變化，而不會顯著地改變形狀。 入射電子在樣品內(nèi)產(chǎn)生的各種信號的深度 (Z)和廣度 (R) ?對于一般元素而言，電子束與試樣作用，激發(fā)區(qū)域是一個梨形作用區(qū)。 隨電子束進入樣品的深度的不斷增加 ， 入射電子的分布范圍不斷增大 。 ?背散射電子信號可以顯示表面形貌，還可以進行定性成分分析 。 非彈性背散射電子的能量范圍很寬 ， 從數(shù)十電子伏到數(shù)千電子伏 。 ?進入樣品后的部分入射電子在與原子核 、核外電子發(fā)生多次 非彈性散射 ， 在連續(xù)改變前進方向的同時 ， 也有不同程度的能量損失 。 ?彈性背散射電子 ，只改變了運動方向，本身能量基本上沒有損失，其能量基本等于入射電子的初始能量。 0 20 40 60 80 2 4 6 8 10 接收的二次電子 ? 二次電子收得數(shù)與入射束 試樣面法線間夾角分布曲線 ?二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒明顯依賴關(guān)系，所以不能用它來進行成分分析。 ?二次電子信號對試樣表面形貌非常敏感。 二次電子的強度 樣品表面下深度 ?二次電子能量大致在0~30eV之間 ， 多數(shù)來自表面層下部 5~50197。 第一節(jié) 電子與固體樣品作用時 產(chǎn)生的信號 （ SE） 入射電子與樣品的核外電子碰撞，使后者脫離原子變成自由電子。 ? 可進行多種功能的分析 。 因而對于復(fù)雜而粗糙的樣品表面 ， 仍然可得清晰聚焦的圖像 。 ? 具有相當(dāng)?shù)姆直媛?， 一般為 26nm， 最高可達 。 ? 能在很大的放大倍數(shù)范圍工作 ， 從幾倍到幾十萬倍 ， 相當(dāng)于從放大鏡到透射電鏡的放大范圍 。第五章
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