電子顯微分析與電子探針(1)-文庫吧資料
2025-05-09 08:20本頁面
【正文】 布狀態(tài)就會因擴散而變化，導(dǎo)致探頭功能下降甚至完全被破壞。能譜儀的能量分辨率 (130eV)比波譜儀的能量分辨率 (5eV)低。由于能譜儀的探頭直接對著樣品，所以由背散射電子或 X射線所激發(fā)產(chǎn)生的熒光 X射線信號也被同時檢測到，從而使得 Si(Li)檢測器檢測到的特征譜線在強度提高的同時，背底也相應(yīng)提高，譜線的重疊現(xiàn)象嚴(yán)重。由于能譜儀沒有運動部件，穩(wěn)定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復(fù)性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。此外，能譜儀可在低入射電子束流 (1011A)條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。 ? (2)靈敏度高 X射線收集立體角大。 圖 2218 Si(Li)檢測器探頭結(jié)構(gòu)示意圖 ? 以 Si(Li)檢測器為探頭的能譜儀實際上是一整套復(fù)雜的電子學(xué)裝置。 ? EPMA使用的 X射線譜儀有 波譜儀 和 能譜儀 兩類。 二次電子像的襯度可以分為以下幾類： ? (1)形貌襯度 ? (2)成分襯度 ? (3)電壓襯度 ? (4)磁襯度 (第一類 ) 右圖為形貌襯度原理 二次電子像襯度的特點： ? （ 1）分辨率高 ? （ 2）景深大，立體感強 ? （ 3）主要反應(yīng)形貌襯度。 1．二次電子像襯度及特點 ? 二次電子信號主要來自樣品表層 5~10nm深度范圍，能量較低 (小于50eV)。 表 222 掃描電子顯微鏡景深 第二節(jié) 像襯原理與應(yīng)用 ? 一、像襯原理 ? 像的襯度 就是像的各部分 (即各像元 )強度相對于其平均強度的變化。 ? （ 2） 分辨率 ? 影響 SEM圖像分辨率的主要因素有： ? ①掃描電子束斑直徑 ； ? ②入射電子束在樣品中的擴展效應(yīng)； ? ③操作方式及其所用的調(diào)制信號； ? ④信號噪音比； ? ⑤雜散磁場； ? ⑥機械振動將引起束斑漂流等，使分
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