掃描電子顯微分析-文庫吧資料
2025-01-06 05:37本頁面
【正文】 ），其形貌可看成由許多不同傾斜程度的面構(gòu)成的凸尖、臺階、凹坑等細節(jié)組成，這些細節(jié)的不同部位發(fā)射的二次電子數(shù)也不同，從而產(chǎn)生襯度。 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度表 26 二次電子發(fā)射系數(shù)能量 元素 10keV 30keV 50keV鋁 金 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度 根據(jù)二次電子的上述特點，二次電子像主要反映試樣表面的形貌特征。隨著入射束能量增加，二次電子發(fā)射系數(shù)減小，見表 2－6。 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度 二次電子 像 二次電子是被入射電子轟出的試樣原子的核外電子，其主要特點是： （ l） 能量小于 50eV， 主要反映試樣表面 10nm層內(nèi)的狀態(tài)，成像分辨率高。 采用背散射電子信號分離觀察的方法，可分別得到只反映表面形貌的形貌像和只反映成分分布狀況的成分像。在用單個電子探測器探測時，只能探測到面向探測器的表面發(fā)射的背散射電子，如圖 2－ 78a， 所成的像具有較重的陰影效應(yīng)，使表面形貌不能得到充分顯示（圖 2－ 79）。 從上述的背散射電子特點可知，背散射電子發(fā)射系數(shù)和試樣表面傾角以及試樣的原子序數(shù)二者有關(guān)，背散射電子信號中包含了試樣表面形貌和原子序數(shù)信息，像的襯度既有形貌襯度，也有原子序數(shù)襯度，因此，可利用背散射電子像來研究樣品表面形貌和成分分布。垂直入射時為余弦分布： η(φ)=η 0cosφ 當(dāng)試樣表面傾角增大時，由于電子有向前散射的傾向，峰值前移。 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度?當(dāng)試樣表面傾角增大時，作用體積改變，且顯著增加發(fā)射系數(shù)。?背散射電子發(fā)射系數(shù) η=I B/I0隨原子序數(shù)增大而增大（圖 275）。利用對試樣表面電位狀態(tài)敏感的信號，如二次電子，作為顯像管的調(diào)制信號，可得到電壓襯度像。背散射電子像、吸收電子像的襯度，都包含有原子序數(shù)襯度，而特征 X射線像的襯度是原子序數(shù)襯度。?原子序數(shù)襯度 原子序數(shù)襯度是由于試樣表面物質(zhì)原子序數(shù)（或化學(xué)成分）差別而形成的襯度。利用對試樣表面形貌變化敏感的物理信號如二次電子、背散射電子等作為顯象管的調(diào)制信號，可以
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