篇電子顯微分析ppt課件-文庫吧資料
2025-01-21 07:00本頁面
【正文】 圖中的 S S0、S1’ 衍射譜。 適用于暗場像） ? 具體操作 ：電磁偏轉(zhuǎn)器調(diào)節(jié) 成像系統(tǒng) ? 成像系統(tǒng)一般由 : ? 物鏡 ? 中間鏡 ? 投影鏡 ? 物鏡的分辨本領(lǐng)決定了電鏡的分辨本領(lǐng) （ 1）物鏡： ? 強激磁、短焦距透鏡（ f=1~3mm） ? 放大倍數(shù) 100~300倍 ? 分辨率 2197。 電鏡的照明系統(tǒng) ? （ 3）垂直照明和傾斜照明 ? 垂直照明 ：照明電子束軸線和成像系統(tǒng)軸線重合（適用于明場像） ? 傾斜照明 ：照明電子束軸線和成像系統(tǒng)軸線成一定的夾角（一般是 2176。 （ 1）電子槍 ? 控制極（柵極）： ? 放置在陰極與陽極之間，依靠比陰極更負(fù)的電位（柵極排斥作用），使電子束強烈的會聚，從而抵消陽極板小孔的發(fā)散作用，使電子束以細(xì)束狀由陽極板小孔穿行而過。范圍內(nèi)傾斜 電鏡的照明系統(tǒng) ? 照明系統(tǒng)滿足如下條件 ： ? （ 1）能夠提供足夠數(shù)目的電子 ? （ 2）電子發(fā)射區(qū)域要小 ? （ 3）電子速度要大 （ 1）電子槍 ? 電子槍是電鏡的電子源。 60度 轉(zhuǎn)動 4000 ? 光學(xué)顯微鏡和透射電鏡光路圖比較 ： 光源 中間像 物鏡 試樣 聚光鏡 目鏡 毛玻璃 電子鏡 聚光鏡 試樣 物鏡 中間像 投影鏡 觀察屏 日本 JEOL公司生產(chǎn)的 JEM1200EXⅡ 透射電鏡 國家超細(xì)粉末研究中心 浙江大學(xué)分析測試中心 JEM1200EX 透射顯微電鏡構(gòu)造原理和光路 電鏡的照明系統(tǒng) ? 照明系統(tǒng)的組成： ? 電子槍、聚光鏡、平移對中及傾斜裝置 ? 照明系統(tǒng)的作用： ? 為成像系統(tǒng)提供一束亮度高、相干性好的照明光源 ? 為滿足暗場成像的需要電子束可在 2186。 20度 β=177。 60度 β=177。除適用於微區(qū)域成份分析外，更有潛力發(fā)展三度空間全像術(shù)(holography)。 (3) 多功能分析裝置：如附加電子能量分析儀 (electron analyzer， EA) 可監(jiān)定微區(qū)域的化學(xué)組成。 (2) 高分辨率：最佳解像能力為點與點間 nm、線與線間 。 增加分辨率等，目前已有數(shù)部 23MeV的TEM在使用中。 ? 入射電子束（照明束）也有兩種主要形式： ? 平行束：透射電鏡成像及衍射 ? 會聚束：掃描透射電鏡成像、微分析及微衍射 TEM的主要發(fā)展方向 ： (1) 高電壓：增加電子穿透試樣的能力，可觀察較厚、較具代表性的試樣，現(xiàn)場觀察輻射損傷 。 習(xí) 題 ? 電子波有何特征 ?與可見光有何異同 ? ? 分析電磁透鏡對電子波的聚焦原理，說明電磁透鏡的結(jié)構(gòu)對聚焦能力的影響。 成像透鏡及性質(zhì) ? 電子在磁場中的運動特征： 電子在磁場中的運動軌跡受磁場的強度和形狀制約 光學(xué)玻璃透鏡 ? 對于光學(xué)玻璃透鏡，平行光穿過透鏡后發(fā)生折射就會聚焦在透鏡的焦點上 電磁透鏡 ?電磁透鏡實質(zhì)是一個通電的短線圈，它能造成一種 軸對稱的不均勻分布磁場 ?在軸對稱的磁場中，電子在磁場內(nèi)作螺旋近軸運動 電磁透鏡的聚焦原理示意圖 洛侖茲力： 正電荷在磁場中運動時受到磁場的作用力 BvqF ??? ??利用電磁線圈產(chǎn)生磁場的 電磁透鏡 可以通過調(diào)節(jié)電流而很方便地調(diào)節(jié)磁場強度，從而調(diào)節(jié)透鏡焦距和放大倍數(shù) 帶有軟磁鐵殼的電磁透鏡示意圖 環(huán)狀狹縫 —— 減少磁場的廣延度，使大量磁力線集中在縫隙附近的狹小地區(qū)之內(nèi)，增強磁場強度 ?，F(xiàn)代物鏡可獲得 ~， ? ~103弧度，對應(yīng)的分辨率 為 ～ 2197。若用小孔光欄擋住外圍射線，可以使球差迅速下降。（ ） ??? 21s i ?? nd原因 : ?電子透鏡不完善，有像差（球差、色差、像散） ?電子透鏡孔徑角之半 ?~ （ sin?≈102） 電子透鏡的像差 ? 電磁透鏡的像差： ? 球差 ? 像散 ? 色差 球差 ? 球差即球面像差，是磁透鏡中心區(qū)和邊沿區(qū)對電子的折射能力不同引起的 球差 ? 球差最小散焦斑的半徑在原物面上的折算值如下： ? ? Cs — 球差系數(shù)，通常相當(dāng)于焦距， 1~3mm ? α — 電磁透鏡的孔徑半角 ? 若兩點距離 時，不能分辨
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