篇電子顯微分析ppt課件(2)-文庫吧資料
2025-01-21 06:53本頁面
【正文】 掃描電子顯微分析 Dept. of MSE, CQU 50 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 Dept. of MSE, CQU 51 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 Dept. of MSE, CQU 52 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 Dept. of MSE, CQU 53 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 Dept. of MSE, CQU 54 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 。 ? 掃描電鏡以景深大而著名。 電子束入射半角是控制景深的主要因素，它取決于末級透鏡的光闌直徑和工作距離。 Dept. of MSE, CQU 29 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 ? 景深 ? 景深是指透鏡對高低不平的試樣各部位能同時聚焦成像的一個能力范圍。 ?此外，影響分辨率的因素還有信噪比、雜散電磁場、機械振動等。即使電子束束斑很細小，也不能達到較高的分辨率，此時二次電子的分辨率和背散射電子的分辨率之間的差距明顯變小。 電子束射入重元素樣品中時，作用體積不呈梨狀，而是半球狀。 ?掃描電鏡的分辨率用二次電子像的分辨率表示。 ? 這兩種電子的分辨率就相當于束斑的直徑。 入射電子在樣品中的擴展 Dept. of MSE, CQU 25 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 ? 俄歇電子和二次電子因其本身能量較低以及平均自由程很短，只能在樣品的淺層表面內逸出。 Dept. of MSE, CQU 24 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 ? 在高能入射電子作用下，試樣表面激發(fā)產生各種物理信號， 用來調制熒光屏亮度的信號不同，則分辨率就不同 。熱陰極電子槍的最小束斑直徑 3nm，場發(fā)射電子槍可使束斑直徑小于 1nm。 ? 這兩者主要取決于入射電子束直徑， 電子束直徑愈小，分辨率愈高 。 Dept. of MSE, CQU 23 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 ? 分辨率 ? 分辨率是掃描電子顯微鏡主要性能指標。 Dept. of MSE, CQU 21 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 掃描電鏡的主要性能 ? 1．放大倍數（ magnification） ? 2．分辨率（ resolution） ? 3．景深（ depth of field / depth of focus） Dept. of MSE, CQU 22 材料現(xiàn)代測試方法 掃描電子顯微分析 ? 放大倍數 當入射電子束作光柵掃描時，若電子束在樣品表面掃描的幅度為 AS，在熒光屏上陰極射線同步掃描的幅度為 AC，則掃描電子顯微鏡的放大倍數為： CSAMA? 由于掃描電子顯微鏡的熒光屏尺寸是固定不變的，因此，放大倍率的變化是通過改變電子束在試樣表面的掃描幅度 AS來實現(xiàn)的。 顯然，一個原子中至少要有三個以上的電子才能產生俄歇效應，鈹是產生俄歇效應的最輕元素。 因每一種原子都有自己的特征殼層能量，所以它們的 俄歇電子能量也各
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