掃描電子顯微分析-展示頁
2025-01-08 05:37本頁面
【正文】 得到形貌襯度像。當一束微細的電子束照射在表面粗糙的試樣上時，由于電子束有一定發(fā)散度，發(fā)散半角為 β ， 除了焦平面處，電子束將展寬，設(shè)可獲得清晰圖像的束斑直徑為 d， 由圖中幾何關(guān)系可得： 掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析 掃描電鏡圖象及其襯度掃描電鏡像的襯度 掃描電鏡圖象的襯度是信號襯度，它可定義為： 根據(jù)形成的依據(jù)，掃描電鏡的襯度可分為形貌襯度、原子序數(shù)襯度和電壓襯度。 掃描電子顯微分析掃描電鏡的主要結(jié)構(gòu)電子光學系統(tǒng)電子槍聚光鏡（ 第一、 第二聚光鏡和物 鏡） 物鏡光闌掃描系統(tǒng)掃描信號發(fā)生器掃描放大控制器掃描偏轉(zhuǎn)線圈 掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析信號探測放大系統(tǒng) 用閃爍體計數(shù)系統(tǒng)探測二次電子、背散射電子等電子信號。與 X射線譜儀配接，可在觀察形貌的同時進行微區(qū)成分分析；配有光學顯微鏡和單色儀等附件時，可觀察陰極熒光圖像和進行陰極熒光光譜分析等。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖像選擇器，可在熒光屏上同時觀察不同放大倍數(shù)的圖像或不同形式的圖像。 掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析 （ 5）可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像的質(zhì)量。 （ 3）放大倍數(shù)變化范圍大，一般為 15～ 202300倍，最大可達 10～ 300000倍，對于多相、多組成的非均勻材料便于低倍下的普查和高倍下的觀察分析。 掃描電子顯微分析掃描電鏡具有以下的特點： （ 1）可以觀察直徑為 0～ 30mm的大塊試樣，制樣方法簡單。 聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射（以及其它物理信號），二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。 其中二次電子是最主要的成像信號。掃描電子顯微分析 掃描電子顯微分析1． 掃描電子顯微鏡的工作原理及特點 掃描電鏡是用聚焦電子束在試樣表面逐點掃描成像。試樣為塊狀或粉末顆粒，成像信號可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。由電子槍發(fā)射的能量為 5～ 35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強度和束斑直徑的微細電子束，在掃描線圈驅(qū)動下，于試樣表面按一定時間、空間順序作柵網(wǎng)式掃描。二次電子信號被探測器收集轉(zhuǎn)換成電訊號，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵
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