電子顯微分析與電子探針-展示頁
2025-05-12 08:20本頁面
【正文】 辨率下降。 ? 由穩(wěn)壓、穩(wěn)流及相應的安全保護電路組成 6．真空系統(tǒng) ? 作用：確保電子光學系統(tǒng)正常工作、防止樣品污染、保證燈絲的工作壽命等。 4．圖像顯示和記錄系統(tǒng) ? 作用：將信號檢測放大系統(tǒng)輸出的調制信號轉換為能顯示在陰極射線管熒光屏上的圖像，供觀察或記錄。 ? 閃爍計數(shù)器是最常用的一種信號檢測器，它由閃爍體、光導管、光電倍增管組成。 3．信號檢測放大系統(tǒng) ? 作用：收集 (探測 )樣品在入射電子束作用下產生的各種物理信號，并進行放大。 圖 222 電子光學系統(tǒng)示意圖 表 221 幾種類型電子槍性能比較 2．偏轉系統(tǒng) ? 作用 ：使電子束產生橫向偏轉，包括用于形成光柵狀掃描的掃描系統(tǒng)，以及使樣品上的電子束間斷性消隱或截斷的偏轉系統(tǒng)。第二十三章 掃描電子顯微分析與電子探針 第一節(jié) 掃描電子顯微鏡工作原理及構造 ? 一、工作原理 圖 221 掃描電子顯微鏡原理示意圖 二、構造與主要性能 ? 掃描電子顯微鏡由 電子光學系統(tǒng) (鏡筒 )、 偏轉系統(tǒng) 、 信號檢測放大系統(tǒng) 、 圖像顯示和記錄系統(tǒng) 、 電源系統(tǒng) 和 真空系統(tǒng) 等部分組成 1．電子光學系統(tǒng) ? 由電子搶、電磁聚光鏡、光欄、樣品室等部件組成。 ? 作用：獲得掃描電子束，作為使樣品產生各種物理信號的激發(fā)源。 ? 偏轉系統(tǒng)可以采用橫向靜電場，也可采用橫向磁場。 ? 不同的物理信號，要用不同類型的收集系統(tǒng)。具有低噪聲、寬頻帶 (10Hz~1MHz)、 高增益 (106)等特點，可用來檢測二次電子、背散射電子等信號。 5．電源系統(tǒng) ? 作用：為掃描電子顯做鏡各部分提供所需的電源。 SEM的主要性能 ? （ 1） 放大倍數(shù) ? 可從 20倍到 20萬倍連續(xù)調節(jié)。 ? （ 3） 景深 ? SEM（
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