【正文】
括兩部分:一為提供並聚集電子於標(biāo)本上產(chǎn)生訊息的主體,包括電子槍(Electron Gun)、電磁透鏡(Electromagnetic Lens)、樣品室(Specimen Chamber)及真空系統(tǒng)(Vacuum System)。經(jīng)常用於掃描式顯微鏡上之偵測器包括二次電子偵測器(Secondary Electron Detector)、背向散射電子偵測器(Backscattered Electron Detector)及X光光譜儀(Xray Spectrometer)。圖三為各種訊號與解析度之示意圖。產(chǎn)生細(xì)小之電子束經(jīng)過電磁透鏡系統(tǒng),形成直徑極小之電子探束(Electron Probe)而後照射在試樣表面。真空電子顯微量測儀( SEM ) 儀器介紹SEM工作原理:SEM主要構(gòu)造示意圖如圖一與圖二所示。電子槍利用電源加熱鎢絲燈(