電子顯微技術(shù)ppt課件-展示頁
2025-05-10 18:02本頁面
【正文】 顯像管柵極以調(diào)制顯像管的亮度。末級透鏡上部的掃描線圈能使電子束在試樣表面上做光柵狀掃描。 三、結(jié)構(gòu)原理 在掃描電鏡中，電子槍發(fā)射出來的電子束，經(jīng)三個電磁透鏡聚焦后，成為直徑為 20微米 ~25197。） 50 500~2022 1000~10000 3000~10000 3000~10000 三、結(jié)構(gòu)原理 ? 掃描電鏡由電子光學系統(tǒng)、信號接收處理系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、真空系統(tǒng)組成。而把比入射電子能量低 10~100ev的發(fā)射電子均歸屬為低損失電子。 ? 陰極熒光：入射電子束轟擊發(fā)光材料時，從樣品中激發(fā)的可見光或紅外線。 ? X射線：從樣品原子內(nèi)部發(fā)射出來的具有一定能量的特征 X射線，發(fā)射深度為 ~5181。 ? 俄歇電子：從距樣品表面幾 197。m深度范圍內(nèi)散射回來的入射電子，其能量近似入射電子的能量。 觀察式樣景深大，富有立體感 樣品制備簡單 圖象質(zhì)量容易控制 二、掃描電鏡的電子與物質(zhì)的相互作用 當高能入射電子束轟擊樣品表面時，由于入射電子束與樣品間的相互作用，有99%以上的入射電子能量轉(zhuǎn)變?yōu)殡娮訜崮?，而余下?1%入射電子能量，將從樣品中激發(fā)出各種有用的信息，主要有： ? 二次電子：從距樣品表面 100 197。 一、掃描電鏡的特點 儀器分辨本領(lǐng)較高，分辨率可小于 5197。 ?目前，透射掃描電鏡的分辨率已達 5197。 掃描電子顯微技術(shù) 2022年 3月 ?掃描電鏡是近幾十年來才完善起來的一種光學儀器 ,可對較大試樣進行原始表面觀察 ,可對試樣進行形貌、成分、晶體學、陰極發(fā)光、感應(yīng)電導等方面的分析。 ?在試樣室內(nèi)加入冷卻、加熱、彎曲、離子腐蝕等附件，可進行動態(tài)觀察。表面掃描電鏡二次電子象以優(yōu)于 60197。 儀器放大倍數(shù)變化范圍大（一般為 10~150000），且連續(xù)可調(diào)。左右深度范圍內(nèi)激發(fā)出來的低能電子 ? 背散射電子：從距樣品表面 ~1181。 ? 透射電子：透過樣品的電子 ? 吸收電子：殘存在樣品中的入射電子。深度范圍內(nèi)發(fā)射的并具有特征能量的二次電子。m范圍。 二、掃描電鏡的電子與物質(zhì)的相互作用 為方便起見，實際收集不同種類的發(fā)射電子信息時，在掃描電鏡中常人為的規(guī)定：凡能量小于 50ev的發(fā)射電子均歸屬為二次電子，能量大于50ev的發(fā)射電子均歸屬為背散射電子。 名稱 人為定義 背散射電子 能量大于 50ev的發(fā)射電子 二次電子 能量小于 50ev的發(fā)射電子 低損失電子 能量低于入射電子 10~100ev的發(fā)射電子 俄歇電子 具有特征能量 二、掃描電鏡的電子與物質(zhì)的相互作用 各種信號成象的分辨率 信號 二次電子 背反射電子 吸收電子 感應(yīng) 陰極發(fā)光 分辨率（ 197。 ? 電子光學系統(tǒng)只有起聚焦作用的會聚透鏡，而沒有透射電鏡里起放大作用的物鏡、中間鏡和投影鏡。的電子束。試樣在在電子束的作用下，激發(fā)出各種信號，信號的強度取決于試樣表面的形貌、受激發(fā)區(qū)的形貌和晶體取向。 由于顯像管中的電子束和鏡筒中的電子束是同步掃描的，顯像管上各點的亮度由試樣上各點激發(fā)出的電子信號強度來調(diào)制的，試樣表面上任一點 所收集來
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