電子顯微分析與電子探針-閱讀頁
2025-05-18 08:20本頁面
【正文】 圖 1019 Si(Li)X射線能譜儀 Si(Li)能譜儀的優(yōu)點： ? (1)分析速度快 能譜儀可以同時接受和檢測所有不同能量的 X射線光子信號，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素， 帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為 11Na~92U， 20世紀(jì) 80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析 Be以上的輕元素，探測元素的范圍為 4Be~92U。由于能譜儀中 Si(Li)探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方 (10㎝左右 )，無需經(jīng)過晶體衍射，信號強度幾乎沒有損失，所以靈敏度高 (可達(dá) 104cps/nA， 入射電子束單位強度所產(chǎn)生的 X射線計數(shù)率 )。 ? (3)譜線重復(fù)性好 。 能譜儀的缺點： ? (1)能量分辨率低，峰背比低 。故儀器分辨不同能量特征 X射線的能力變差。 ? (2)工作條件要求嚴(yán)格 。 二、波譜儀 ? 波譜儀全稱為波長分散譜儀 (WDS)。 ? 被激發(fā)的特征 X射線照射到連續(xù)轉(zhuǎn)動的分光晶體上實現(xiàn)分光 (色散 )，即不同波長的 X射線將在各自滿足布拉格方程的 2?方向上被 (與分光晶體以 2:1的角速度同步轉(zhuǎn)動的 )檢測器接收。如它可將波長十分接近的VK?()、 CrK?1()和 CrK?2()3根譜線清晰地分開。 ? 此外，由于經(jīng)過晶體衍射后，強度損失很大，所以，波譜儀 難以在低束流和低激發(fā)強度下使用 ，這是波譜儀的兩個缺點。 ? 下圖給出了 ZrO2(Y2O3)陶瓷析出相與基體定點成分分析結(jié)果，可見析出相（ t相） Y2O3含量低，而基體 (c相 )Y2O3含量高，這和相圖是相符合的。 BaF2晶界的線掃描分析 (a)形貌像及掃描線位置； (b)O及 Ba元素在掃描線位置上的分布 ? 下圖給出 ZnOBi2O3陶瓷試樣燒結(jié)自然表面的面分布分析結(jié)果，可以看出 Bi在晶界上有嚴(yán)
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