電子探針epmappt課件-閱讀頁
2025-05-16 13:17本頁面
【正文】 電子束同軸的光學(xué)顯微鏡觀察系統(tǒng) (100～400倍 )，確保光學(xué)顯微鏡圖象中由垂直交叉線所標(biāo)記的樣品位置恰與電子束轟擊點(diǎn)精確重合。 一般情況下，電子探針分析要求樣品平面與入射電子束垂直，即保持電子束垂直入射的方向。 5) 定量分析的數(shù)據(jù)處理 利用電子探針儀進(jìn)行微區(qū)成分的定量分析，即把某元素的特征 X射線測(cè)量強(qiáng)度換算成百分濃度時(shí)，涉及 X射線信號(hào)發(fā)生和發(fā)射過程中的許多物理現(xiàn)象，十分敏感地受到樣品本身化學(xué)成分的影響，需要一整套復(fù)雜的校正計(jì)算。 1%～ 5%。 電子探針儀的樣品制備相對(duì)掃描電鏡來說稍嫌麻煩。因此，對(duì)用于電子探針分析的樣品應(yīng)滿足下列三點(diǎn)要求： (1) 必須嚴(yán)格保證樣品表面的清潔和平整 (2)適宜的樣品尺寸： Φ20*20mm (3) 樣品表面須具有良好的導(dǎo)電性 ? 四、應(yīng)用領(lǐng)域、應(yīng)用范例 WDX EDX Ｍｏ Ｍｏ Ｓ Ｓ Ｓ 成分定性分析 面分析 SEI Fe Pd Pt Ni Sb S Cu 成分偏析 線分析 定量分析 定量分析 組織形貌 二次電子像 背反射 電 子 （組成）像 NaAlSiO3 Z= KAlSi3O8 Z= Al2O3 Z= ? 比較內(nèi)容 WDS EDS ? 元素分析范圍 ５ B－ 92U 4Be－ 92U ? 定量分析速度 慢 快 ? 分辨率 高（ ≈ 5eV） 低（ 130 eV） ? 檢測(cè)極限 102 (%) 101 (%) ? 定量分析準(zhǔn)確度 高 低 ? 輕元素分析 好 一般 ? X射線收集效率 低 高 ? P/B（ WDS/EDS） 10 1 ? 價(jià)格 昂貴 經(jīng)濟(jì) 能譜和波譜性能比較 謝 謝 !
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