《電子探針epma》ppt課件(文件)
【正文】 入射電子束流。顯然，對(duì)于不同波長(zhǎng)的特征 X射線就需要選用與其波長(zhǎng)相當(dāng)?shù)姆止饩w。因此，只要讀出譜儀上的 L值，就可直接得到 λ值。因此，雖然在結(jié)構(gòu)上比較復(fù)雜，但它是目前最常用的一種譜儀。 若電子束位置不變，改變晶體的位置，使 (hkl)晶面與入射 X射線交角為 θ2，并相應(yīng)地改變檢測(cè)器的位置，就可以檢測(cè)到波長(zhǎng)為 λ2= 2d sinθ2的 X射線。 波長(zhǎng)分散譜儀 (波譜儀或光譜儀 ) 一般說來，入射電子束激發(fā)樣品產(chǎn)生的特征 X射線是多波長(zhǎng)的。 只要測(cè)出特征 X射線的波長(zhǎng)，就可確定相應(yīng)元素的原子序數(shù)。 ? 背散射電子像分辨率： W燈絲： 200197。 ， CeBix燈絲 :50197。 工作原理 由 Moseley定律 λ=K/(Zσ)2 X射線特征譜線的波長(zhǎng)和產(chǎn)生此射線的樣品材料的原子序數(shù) Z有一確定的關(guān)系 (K為常數(shù)， σ為屏蔽系數(shù) )。 樣品臺(tái) 樣 品 磁物透鏡 磁聚焦透鏡 ＣＣＤ 光學(xué) 顯微鏡 電子槍 分光晶 體 Ｘ 射線 分光器 Ｘ 射線檢測(cè) 器 背散射電子檢測(cè)器 二次 電 子 檢測(cè) 器 真空室 特征 X射線的檢測(cè) 檢測(cè)特征 X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度是由 X射線譜儀 (波譜儀或能譜儀 )來完成的。若在與入射 X射線方向成 2θ1 的方向上放置 X射線檢測(cè)器，就可以檢測(cè)到這個(gè)特定波長(zhǎng)的 x射線及其強(qiáng)度。 直進(jìn)式波譜儀 特點(diǎn)是 X射線出射角 φ固定不變，彌補(bǔ)了旋轉(zhuǎn)式波譜儀的缺點(diǎn)。 由光源至晶體的距離 L(叫做譜儀長(zhǎng)度 )與聚焦圓的半徑有下列關(guān)系： L=2Rsinθ=Rλ/d 所以，對(duì)于給定的分光晶體， L與 λ存在著簡(jiǎn)單的線性關(guān)系。晶體展譜遵循布喇格方程2dsinθ=λ。 WDX原理 樣品 検出器 入射 電 子 分
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