電子探針epmappt課件(存儲(chǔ)版)
【正文】 ＬＳＡ70 ＬＳＡ120 ＬＳＡ200 ＬＳＡ300 ＰｂＳＴ Ｋ Ｌ Ｍ ● ＬＳＡ80 樣 品 EDX WDX CrKα CrKβ MnKα FeKα FeKβ CoKα NiKα CoKβ EDS WDX FeKα FeKβ CoKα CrKβ NiKα NiKβ CrKα 電子探針儀的實(shí)驗(yàn)方法 1) 加速電壓的選擇 分析過(guò)程中加速電壓的具體選擇，因待分析元素及其譜線的類別 (K系或 L系、 M系 )而異。 由光源至晶體的距離 L(叫做譜儀長(zhǎng)度 )與聚焦圓的半徑有下列關(guān)系： L=2Rsinθ=Rλ/d 所以，對(duì)于給定的分光晶體， L與 λ存在著簡(jiǎn)單的線性關(guān)系。若在與入射 X射線方向成 2θ1 的方向上放置 X射線檢測(cè)器，就可以檢測(cè)到這個(gè)特定波長(zhǎng)的 x射線及其強(qiáng)度。 工作原理 由 Moseley定律 λ=K/(Zσ)2 X射線特征譜線的波長(zhǎng)和產(chǎn)生此射線的樣品材料的原子序數(shù) Z有一確定的關(guān)系 (K為常數(shù)， σ為屏蔽系數(shù) )。 ? 背散射電子像分辨率： W燈絲： 200197。 波長(zhǎng)分散譜儀 (波譜儀或光譜儀 ) 一般說(shuō)來(lái)，入射電子束激發(fā)樣品產(chǎn)生的特征 X射線是多波長(zhǎng)的。因此，雖然在結(jié)構(gòu)上比較復(fù)雜，但它是目前最常用的一種譜儀。顯然，對(duì)于不同波長(zhǎng)的特征 X射線就需要選用與其波長(zhǎng)相當(dāng)?shù)姆止饩w。所以，樣品臺(tái)除了可作 X、 Y軸方向的平移運(yùn)動(dòng)外，一般不作傾斜運(yùn)動(dòng)，對(duì)于定量分析更是如此。樣品質(zhì)量的好壞，對(duì)分析結(jié)果影響很大。 4)樣品室 電子探針定量分析要求在完全相同的條件下，對(duì)未知樣品和待分析元素的標(biāo)樣測(cè)定特定譜線的強(qiáng)度，樣品臺(tái)?？赏瑫r(shí)容納多個(gè)樣品座，分別裝置樣品和標(biāo)樣，后者可有十幾個(gè)。因此，恰當(dāng)?shù)剡x用彎晶是很重要的。若將發(fā)生某一元素特征 X
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