電子探針epmappt課件-文庫(kù)吧在線(xiàn)文庫(kù)
【正文】 射線(xiàn)的入射角 θ固定，對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)掃描，即可得到某一元素的線(xiàn)分布或面分布圖像。 這就是利用電子探針儀作定性、定量分析的理論根據(jù)。電子探針 EPMA (Electron Probe Microanalyzer) 一、設(shè)備介紹： 電子探針原產(chǎn)地：日本島津公司，處于國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平 ① 背散射電子 ②二次 電 子 ④ 特征 Ｘ 射線(xiàn) 吸收電子 EPMA的檢測(cè)信號(hào) ③ 透射電子 樣 品 二、應(yīng)用領(lǐng)域和實(shí)驗(yàn)對(duì)象： 特征 X射線(xiàn) ２次 電 子 背散射電子 透射電子 表面 觀(guān)察 元素分析 EPMA ＥＰＭＡ 可 分析 對(duì)象 金屬材料 電 子材料 高分子材料 氧化物 生物樣品 鋼鐵 有色 金屬 合金 電工電 子半 導(dǎo) 體材料 玻璃 礦物 陶瓷 樹(shù)脂 纖維 動(dòng)物 植物 設(shè)備主要技術(shù)參數(shù) ? 元素測(cè)量范圍： 5B ~ 92U ? 束流范圍 ： 106 ~ 1012A ? 二次電子像分辨率 : W燈絲 : 60197。 又因?yàn)槟撤N元素的特征 X射線(xiàn)強(qiáng)度與該元素在樣品中的濃度成比例，所以只要測(cè)出這種特征 X射線(xiàn)的強(qiáng)度，就可計(jì)算出該元素的相對(duì)含量。如此連續(xù)地操作，即可進(jìn)行該定點(diǎn)的元素全分析。 在波譜儀中，是用彎晶將 X射線(xiàn)分譜的。由于電子流高度密集條件的空間電荷效應(yīng)，束流 的增大勢(shì)必造成最終束斑尺寸的擴(kuò)大，從而影響分析的空間分辨率． 3) 光學(xué)顯微鏡的作用 為了便于選擇和確定分析點(diǎn)，電子探針儀的鏡筒內(nèi)裝有與電子束同軸的光學(xué)顯微鏡觀(guān)察系統(tǒng) (100～400倍 )，確保光學(xué)顯微鏡圖象中由垂直交叉線(xiàn)所標(biāo)記的樣品位置恰與電子束轟擊點(diǎn)精確重合。 電子探針儀的樣品制備相對(duì)掃描電鏡來(lái)說(shuō)稍嫌麻煩。 5) 定量分析的數(shù)據(jù)處理 利用電子探針儀進(jìn)行微區(qū)成分的定量分析，即把某元素的特征 X射線(xiàn)測(cè)量強(qiáng)度換算成百分濃度時(shí)，涉及 X射線(xiàn)信號(hào)發(fā)生和發(fā)射
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