電子探針epmappt課件(更新版)
【正文】 樣 品 磁物透鏡 磁聚焦透鏡 ＣＣＤ 光學(xué) 顯微鏡 電子槍 分光晶 體 Ｘ 射線(xiàn) 分光器 Ｘ 射線(xiàn)檢測(cè) 器 背散射電子檢測(cè)器 二次 電 子 檢測(cè) 器 真空室 特征 X射線(xiàn)的檢測(cè) 檢測(cè)特征 X射線(xiàn)的波長(zhǎng)和強(qiáng)度是由 X射線(xiàn)譜儀 (波譜儀或能譜儀 )來(lái)完成的。 直進(jìn)式波譜儀 特點(diǎn)是 X射線(xiàn)出射角 φ固定不變，彌補(bǔ)了旋轉(zhuǎn)式波譜儀的缺點(diǎn)。晶體展譜遵循布喇格方程2dsinθ=λ。 一般情況下，電子探針?lè)治鲆髽悠菲矫媾c入射電子束垂直，即保持電子束垂直入射的方向。因此，對(duì)用于電子探針?lè)治龅臉悠窇?yīng)滿(mǎn)足下列三點(diǎn)要求： (1) 必須嚴(yán)格保證樣品表面的清潔和平整 (2)適宜的樣品尺寸： Φ20*20mm (3) 樣品表面須具有良好的導(dǎo)電性 ? 四、應(yīng)用領(lǐng)域、應(yīng)用范例 WDX EDX Ｍｏ Ｍｏ Ｓ Ｓ Ｓ 成分定性分析 面分析 SEI Fe Pd Pt Ni Sb S Cu 成分偏析 線(xiàn)分析 定量分析 定量分析 組織形貌 二次電子像 背反射 電 子 （組成）像 NaAlSiO3 Z= KAlSi3O8 Z= Al2O3 Z= ? 比較內(nèi)容 WDS EDS ? 元素分析范圍 ５ B－ 92U 4Be－ 92U ? 定量分析速度 慢 快 ? 分辨率 高（ ≈ 5eV） 低（ 130 eV） ? 檢測(cè)極限 102 (%) 101 (%) ? 定量分析準(zhǔn)確度 高 低 ? 輕元素分析 好 一般 ? X射線(xiàn)收集效率 低 高 ? P/B（ WDS/EDS） 10 1 ? 價(jià)格 昂貴 經(jīng)濟(jì) 能譜和波譜性能比較 謝 謝 !
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