《電子探針epma》ppt課件-文庫(kù)吧
2025-04-16 13:17 本頁(yè)面
【正文】 針儀作定性、定量分析的理論根據(jù)。 樣品臺(tái) 樣 品 磁物透鏡 磁聚焦透鏡 ＣＣＤ 光學(xué) 顯微鏡 電子槍 分光晶 體 Ｘ 射線 分光器 Ｘ 射線檢測(cè) 器 背散射電子檢測(cè)器 二次 電 子 檢測(cè) 器 真空室 特征 X射線的檢測(cè) 檢測(cè)特征 X射線的波長(zhǎng)和強(qiáng)度是由 X射線譜儀 (波譜儀或能譜儀 )來(lái)完成的。 波長(zhǎng)分散譜儀 (波譜儀或光譜儀 ) 一般說(shuō)來(lái)，入射電子束激發(fā)樣品產(chǎn)生的特征 X射線是多波長(zhǎng)的。波譜儀利用某些晶體對(duì) X射線的衍射作用來(lái)達(dá)到使不同波長(zhǎng)分散的目的。 若有一束包括不同波長(zhǎng)的 X射線照射到一個(gè)晶體表面上，平行于該晶體表面的晶面 (hkl)的間距為 d，入射 X射線與該晶面的夾角為 θ1，則其中只有滿足布喇格方程 λ1=2dsinθ1 的那個(gè)波長(zhǎng)的 X射線發(fā)生衍射。若在與入射 X射線方向成 2θ1 的方向上放置 X射線檢測(cè)器，就可以檢測(cè)到這個(gè)特定波長(zhǎng)的 x射線及其強(qiáng)度。 若電子束位置不變，改變晶體的位置，使 (hkl)晶面與入射 X射線交角為 θ2，并相應(yīng)地改變檢測(cè)器的位置，就可以檢測(cè)到波長(zhǎng)為 λ2= 2d sinθ2的 X射線。如此連續(xù)地操作，即可進(jìn)行該定點(diǎn)的元素全分析。若將發(fā)生某一元素特征 X射線的入射角 θ固定，對(duì)樣品進(jìn)行微區(qū)掃描，即可得到某一元素的線分布或面分布圖像。 直進(jìn)式波譜儀 特點(diǎn)是 X射線出射角 φ固定不變，彌補(bǔ)了旋轉(zhuǎn)式波譜儀的缺點(diǎn)。因此，雖然在結(jié)構(gòu)上比較復(fù)雜，但它是目前最常用的一種譜儀。 彎晶在某一方向上作直線運(yùn)動(dòng)并轉(zhuǎn)動(dòng)，探測(cè)器也隨著運(yùn)動(dòng)。聚焦圓半徑不變，圓心在以光源為中心的圓周上運(yùn)動(dòng)，光源、彎晶和接收狹縫也都始終落在聚焦圓的圓周上。 由光源至晶體的距離 L(叫做譜儀長(zhǎng)度 )與聚焦圓的半徑有下列關(guān)系： L=2Rsinθ=Rλ/d 所以，對(duì)于給定的分光晶體， L與 λ存在著簡(jiǎn)單的線性關(guān)系。因
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