電子探針epmappt課件-展示頁
2025-05-10 13:17本頁面
【正文】 顯微鏡 電子槍 分光晶 體 Ｘ 射線 分光器 Ｘ 射線檢測 器 背散射電子檢測器 二次 電 子 檢測 器 真空室 特征 X射線的檢測 檢測特征 X射線的波長和強度是由 X射線譜儀 (波譜儀或能譜儀 )來完成的。波譜儀利用某些晶體對 X射線的衍射作用來達到使不同波長分散的目的。若在與入射 X射線方向成 2θ1 的方向上放置 X射線檢測器，就可以檢測到這個特定波長的 x射線及其強度。如此連續(xù)地操作，即可進行該定點的元素全分析。 直進式波譜儀 特點是 X射線出射角 φ固定不變，彌補了旋轉式波譜儀的缺點。 彎晶在某一方向上作直線運動并轉動，探測器也隨著運動。 由光源至晶體的距離 L(叫做譜儀長度 )與聚焦圓的半徑有下列關系： L=2Rsinθ=Rλ/d 所以，對于給定的分光晶體， L與 λ存在著簡單的線性關系。 在波譜儀中，是用彎晶將 X射線分譜的。晶體展譜遵循布喇格方程2dsinθ=λ。對波長為 的 X射線，需要使用幾塊晶體展譜。 WDX原理 樣品 検出器 入射 電 子 分光 晶體 WDX原理 樣品 檢 出器 入射 電 子 分光 晶體 WDX原理 試樣 檢 出器 入射 電 子 分光 晶體 WDX原理 樣品 檢 出器 入射 電 子 分光 晶體 WDX原理 樣品 檢 出器 入射 電 子 分光晶 體 WDX原理 樣品 檢 出器 入射 電 子 分光晶 體 WDX原理 樣品 檢 出器 入射 電 子 分光晶 體 WDX原理 樣品 檢 出器 入射電 子 分光 晶體 WDX原理 樣品 檢 出器 入射 電 子 分光晶 體 色散晶體覆蓋波長范圍 As Ge Ga
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