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2025-01-07 02:34本頁面
【正文】 聚焦法：晶體曲率半徑是聚焦圓半徑的兩倍n 約翰遜型聚焦法：晶體曲率半徑和聚焦圓半徑相等兩種聚焦方式n 約翰型： 當某一波長的 X射線自點光源 S處發(fā)出時，晶體內(nèi)表面任意點 A、 B、 C上接收到的 X射線相對于點光源來說 ,入射角都相等，由此 A、 B、 C各點的衍射線都能在 D點附近聚焦。n 晶體展譜遵循布拉格方程，對于不同 λ的 x射線，需要選用與其波長相當?shù)姆止饩w。n 由莫塞萊定律可確定被測物質(zhì)所含元素 。工作原理n 由布拉格定律，從試樣中發(fā)出的特征 X射線，經(jīng)一定晶面間距的晶體分光，波長不同的特征 X射線將有不同的衍射角。Xray 譜儀（ 1）波長分散譜儀 WDS Wavelength Dispersive Spectrometern 通過衍射分光原理，測量 x射線的 λ 分布及 I。 鏡筒包括電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品室、 OM等。工作原理n 某種元素的特征 x射線 強度 與該元素在樣品中的濃度成比例，測出 x射線 I，就可計算出該元素的 相對含量 。n SEMEPMA組合型儀器，具有掃描放大 成像 和微區(qū) 成分分析 兩方面功能。電子探針 x射線顯微分析Electron Probe Microanalysis4. 電子探針 x射線顯微分析n 電子探針儀（ EPMA）是一種 微區(qū)成分分析 儀器。 n 采用被聚焦成小于 1 的高速電子束轟擊樣品表面，利用電子束與樣品相互作用激發(fā)出的 特征 x射線 ，測量其 λ 和 Ι ，確定微區(qū)的定性、定量的化學(xué)成分。 工作原理n 具有足夠能量的細電子束轟擊試樣表面，激發(fā)特征 x射線，其波長為：n λ 與樣品材料的 Z有關(guān)，測出 λ ，即可確定相應(yīng)元素的 Z 。 構(gòu)造n 主要有柱體（鏡筒）、 x射線譜儀、紀錄顯示系統(tǒng)。n EPMA與 TEM大體相似，增加了檢測特征 x射線 λ 和 I的 x射線譜儀 ——波譜儀、能譜儀。n 已知 d的晶體（ 分光晶體 ），反射不同
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