關(guān)于電子探針x射線顯微分析(編輯修改稿)
2025-01-19 02:34 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 布圖。n 對(duì)樣品污染作用小n 適于粗糙表面成分分析 不受聚焦圓的限制，樣品的位置可起伏 2－ 3mmn 工作條件： 探測(cè)器須在液氮溫度下使用，維護(hù)費(fèi)用高。WDS 與 EDS比較n WDS分析元素范圍廣、分辨率高、適于精確的定量分析，對(duì)樣品表面要求高、分析速度慢，易引起樣品和鏡筒的污染。n EDS在分析元素范圍、分辨率方面略遜，分析速度快、對(duì)樣品表面要求不高、可用較小的束流和細(xì)微電子束，適于與 SEM配合使用。n 波譜儀的晶體分光特點(diǎn)，對(duì)波長(zhǎng)為 ?的 X射線不僅可以在探測(cè)到 n＝ 1的一級(jí) X射線，同時(shí)可在其它 ?角處探測(cè)到 n為不同值的高級(jí)衍射線。n 波譜定性分析不如能譜定性分析那么簡(jiǎn)單、直觀，就要求對(duì)波譜進(jìn)行更合乎邏輯的分析，以免造成錯(cuò)誤。例：n SK?(n＝ 1)存在于 ， CoK?(n＝1)在 ， CoK?(n＝ 3)的三級(jí)衍射在 3?＝ ，故 SK?的一級(jí)線和 CoK?的 三級(jí)線非常近無(wú)法區(qū)分。n SK?和 CoK?具有不同的能量，使探測(cè)器輸出不同電壓脈沖幅度。 CoK?是 SK?的 3倍，根據(jù) SK?電壓脈沖信號(hào)設(shè)置窗口電壓，通過(guò)脈沖高度分析器排除 CoK?的脈沖，從而使譜中 nm處僅存在 SK?線。比較項(xiàng)目 WDS EDS元素分析范圍元素分析方法能量辨率 /eV靈敏度檢測(cè)效率定量分析精度儀器特殊性4Be～ 92U分光晶體逐個(gè)元素分析高（ 3／ 5～ 10）低低，隨波長(zhǎng)而變化好多個(gè)分光晶體11Na～ 92U／ 4Be～ 92U固態(tài)檢測(cè)器元素同時(shí)檢測(cè)低（ 160／ 135）高高，一定條件下是常數(shù)差探頭液氮冷卻 樣品制備n EMPA對(duì)樣品尺寸大小、導(dǎo)電性、預(yù)處理的要求與 TEM相同，除此之外，應(yīng)注意：① 定量 分析的樣品，表面必須 拋光 以保證平整、光滑。② 光學(xué)觀察進(jìn)行侵蝕的樣品，應(yīng)控制侵蝕程度。③ 樣品表面清潔，防止污染。（機(jī)械拋光、化學(xué)試劑、表
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