電子顯微分析ppt課件(2)(編輯修改稿)
2025-02-11 04:31 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 長 λ 滿足衍射條件。這樣我們可以事先建立一系列 θ 角與相應(yīng)元素的對應(yīng)關(guān)系，當(dāng)某個(gè)由電子束激發(fā)的 X特征射線照射到分光晶體上時(shí)，我們可在與入射方向交成 2θ 角的相應(yīng)方向上接收到該波長的 X射線信號，同時(shí)也就測出了對應(yīng)的化學(xué)元素。只要令探測器連續(xù)進(jìn)行 2θ 角的掃描，即可在整個(gè)元素范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)連續(xù)測量。 波譜儀的特點(diǎn) ：1：波譜儀的突出優(yōu)點(diǎn)是波長分辨率很高。如它可將波長十分接近的 VK?()、CrK?1()和 CrK?2()3根譜線清晰地分開。2：由于經(jīng)過晶體衍射后，強(qiáng)度損失很大，所以，波譜儀難以在低束流和低激發(fā)強(qiáng)度下使用，這是波譜儀的兩個(gè)缺點(diǎn)。 能譜儀結(jié)構(gòu)框圖、能譜儀、能譜儀 能譜儀全稱為能量分散譜儀 (EDS)． 目前最常用的是 Si(Li)X射線能譜儀，其關(guān)鍵部件是 Si(Li)檢測器，即鋰漂移硅固態(tài)檢測器，它實(shí)際上是一個(gè)以 Li為施主雜質(zhì)的 nip型二極管。Si(Li)檢測器探頭結(jié)構(gòu)示意圖 WT% AT%Al Si Cr Mn Fe Si(Li)能譜儀的優(yōu)點(diǎn)： (1)分析速度快 可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為 11Na92U， 20世紀(jì) 80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析 Be以上的輕元素，探測元素的范圍為 4Be92U。 (2)靈敏度高 能譜儀可在低入射電子束流 (1011A)條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。 (3)譜線重復(fù)性好。由于能譜儀沒有運(yùn)動(dòng)部件，穩(wěn)定性好。能譜儀的缺點(diǎn)： (1)能量分辨率低，峰背比低。 (2)工作條件要求嚴(yán)格。(a)能譜曲線； (b)波譜曲線能譜議和波譜儀的譜線比較(3)波譜儀與能譜儀的性能比較 檢測效率 能譜儀中鋰漂移硅探測器對 X射線發(fā)射源所張的立體角顯著大于波譜儀，所以前者可以接受到更多的 X射線；其次波譜儀因分光晶體衍射而造成部分 X射線強(qiáng)度損失，因此能譜儀的檢測效率較高。 空間分析能力 能譜儀因檢測效率高可在較小的電子束流下工作，使束斑直徑減小，空間分析能力提高。目前，在分析電鏡中的微束操作方式下能譜儀分析的最小微區(qū)
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