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2024-12-30 02:34 本頁面
【正文】 （可用于非導體）n 橫向分辨率 ，縱向分辨率為 。它對原子的檢測深度 1－ 2個原子層，對樣品無破壞。 應(yīng)用n 一種無損的微區(qū)分析，特別是成分及其分布。 注意：n 線掃描、面掃描要求樣品表面平整，否則出現(xiàn)假象。線掃描分析（ 3） 面掃描 分析n 電子束在試樣表面進行面掃描，譜儀只檢測某一元素的特征 x射線位置，得到由許多亮點組成的圖像。n 譜線強度峰的位置波長 → 微區(qū)含有 元素 元素某一譜線的強度 → 元素的 含量微區(qū)成分分析（ 2） 線掃描 分析n 聚焦電子束在試樣沿一直線慢掃描，同時檢測某一指定特征 x射線的瞬時 I，得到特征 x射線 I沿試樣掃描線的分布。 對比單元素特征譜線波長，確定樣品中的元素。比較項目 WDS EDS元素分析范圍元素分析方法能量辨率 /eV靈敏度檢測效率定量分析精度儀器特殊性4Be～ 92U分光晶體逐個元素分析高（ 3／ 5～ 10）低低，隨波長而變化好多個分光晶體11Na～ 92U／ 4Be～ 92U固態(tài)檢測器元素同時檢測低（ 160／ 135）高高，一定條件下是常數(shù)差探頭液氮冷卻 樣品制備n EMPA對樣品尺寸大小、導電性、預(yù)處理的要求與 TEM相同，除此之外，應(yīng)注意：① 定量 分析的樣品，表面必須 拋光 以保證平整、光滑。n 波譜定性分析不如能譜定性分析那么簡單、直觀，就要求對波譜進行更合乎邏輯的分析，以免造成錯誤。n 對樣品污染作用小n 適于粗糙表面成分分析 不受聚焦圓的限制，樣品的位置可起伏 2－ 3mmn 工作條件： 探測器須在液氮溫度下使用，維護費用高。工作原理n 鋰漂移硅半導體探測器，習慣記 Si(Li)探測器。n 峰背比大 背底扣除容易，數(shù)據(jù)處理簡單。n 因 A、 B、 C三點的衍射線并不恰在一點，是一種近似的聚焦方式。分光晶體n 專門用來對 x射線起色散（分光）作用的晶體，具
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