關(guān)于電子探針x射線顯微分析-文庫吧
2024-12-22 02:34 本頁面
【正文】 晶體兩種聚焦方式n 約翰型聚焦法：晶體曲率半徑是聚焦圓半徑的兩倍n 約翰遜型聚焦法：晶體曲率半徑和聚焦圓半徑相等兩種聚焦方式n 約翰型： 當(dāng)某一波長的 X射線自點光源 S處發(fā)出時，晶體內(nèi)表面任意點 A、 B、 C上接收到的 X射線相對于點光源來說 ,入射角都相等，由此 A、 B、 C各點的衍射線都能在 D點附近聚焦。n 因 A、 B、 C三點的衍射線并不恰在一點，是一種近似的聚焦方式。n 約翰遜型： A、 B、 C三點的衍射束正好聚焦在 D點，叫做完全聚焦法波長色散譜WDS 特點：n 分析速度 慢 單個元素測量，做全分析時間較長。n 分辨率 高 ： 10eV 譜儀分辨率是指分開、識別相鄰兩個譜峰的能力。 測量精度高，多用于超輕元素 Z9測量。n 峰背比大 背底扣除容易，數(shù)據(jù)處理簡單。n 分析元素范圍： 4Be－ 92Un 樣品表面要求平整、光滑。（ 2）能量色散譜儀 EDS Energy Dispersive Spectrometern 利用 固態(tài)檢測器 （鋰漂移硅）測量每個 x射線光子的能量，并按 E大小展譜。n 得到以能量為橫坐標(biāo)、強(qiáng)度為縱坐標(biāo)的 x射線能量色散譜，顯示于熒光屏上。工作原理n 鋰漂移硅半導(dǎo)體探測器，習(xí)慣記 Si(Li)探測器。n X射線光子進(jìn)入 Si晶體內(nèi)，產(chǎn)生電子 –空穴對，在 100K左右溫度時，每產(chǎn)生一個電子 –空穴對消耗的平均能量為 。能量為 E的 X射線光子所激發(fā)的電子 –空穴對數(shù) N為 N＝ E／ ? 入射 X射線光子 E不同，激發(fā)的 N不同，探測器輸出電壓脈沖高度由 N決定。NaCl的掃描形貌像及其能量色散譜EDS 特點：n 分析速度 快n 分辨率較 低 ： 150eVn 峰背比小 譜峰寬、易重疊，背底扣除困難，數(shù)據(jù)處理復(fù)雜n 分析元素范圍： 11Na－ 92Un 進(jìn)行低倍掃描成像，大視域的元素分
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