sem電子顯微鏡與電子探針-展示頁
2025-05-16 18:13本頁面
【正文】 電子光學系統(tǒng) ： 初級束要求：束斑盡可能小 電流盡可能大 取折衷 (一 )電子源 (二 )電子槍 (一 ) 電子源 1． 熱發(fā)射源 當溫度超過一定值時，有較多的電子具有克服表面勢壘 (功函數(shù) φ ) 的動能而逃離金屬射出。 影響分辨率的主要因素： △ 初級束斑：分辨率不可能小于初級束斑 △ 入射電子在樣品中的散射效應 △ 對比度 3． 景深 △ 一般景深的定義： △ SEM的景深： 對于 SEM，雖沒有實際的成象透鏡，但景深的意義是相同的。 但是當出射電子以同表面垂直方向成 θ 角射出時，電子所反映的信息深度應該是： d =λ cosθ △ 激發(fā)深度與信息深度 ： 在掃描電鏡中，由電子激發(fā)產(chǎn)生的主要信號的信息深度： 俄歇電子 1 nm ( nm) 二次電子 550 nm 背散射電子 50500 nm X射線 m 產(chǎn)生大量二次電子， 產(chǎn)生少量二次電子， 信噪比差 信噪比好 電子探束 光子探束 (三 ) 電子作為探束的特點 碰撞中 Ep Δ E， 碰撞中 hγ =Δ E，自身湮沒 損失部分能量后射出 可聚焦、偏轉(zhuǎn)，獲得 不易聚焦，束斑大且強度低 小束斑和高強度 電子束源價格低廉 X光源復雜，價格較貴 宜為外層價電子電離源 宜為芯層電子電離源 1． 放大倍數(shù) 熒光屏上的掃描振幅 電子束在樣品上的掃描振幅 放大倍數(shù)與掃描面積的關系： (若熒光屏畫面面積為 10 10cm2) 放大倍數(shù) 掃描面積 10 (1cm)2 100 (1mm)2 1,000 (100μ m)2 10,000 (10μ m)2
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