sem電子顯微鏡與電子探針-wenkub.com
2025-05-04 18:13 本頁面
【正文】 。 在 D深度范圍內，中心處為最佳聚焦 當 dp 最小可分辨時，在 D深度范圍內均可清晰成象。 △ 衰減長度和電子能量的關系： 實驗結果： 經驗公式： λ = (Ai/E2)+BiE1/2 其中 A、 B對于不同的元素及化合物 有不同的值 . △ 信息深度： 信號電子所攜帶的信息來自多厚的表面層？ 通常用出射電子的逃逸深度來估計。 與普通顯微鏡的差別 ： 電子波長 E為電子能量，單位 eV 當 E = 30KeV 時 , λ ≈ )( nmE?? 普通顯微鏡 SEM 基本原理 光折射成象 同步掃描 入射束波長 400 700 nm 能量為 E的電子 放大倍數(shù) ～1600 幾十萬 分辨率 200 nm nm 景深 是普通顯微鏡的 300倍 學習的重要性 ： ▲ 是形貌分析的重要手段 ▲ 二次電子象在其它分析儀器中的應用 ▲ 基本物理概念、儀器參數(shù)及基本單元的通用性 二、 基本物理概念 (一 ) 電子與表面相互作用及與之相關的分析技術 (二 ) 信息深度 (三 ) 電子作為探束的分析技術特點 (一 )電子與表面相互作用及與之相關的分析技術 1．信息種類及相應的分析技術： △ 背散射：經彈性散射或一次非彈性散射后 以 θ 90176。 射出表面， E～Ep △ 特征能量損失 △ 多次散射后射出－形成本底 △ 在樣品中停止，變?yōu)槲针娏? △ 從樣品透射 (TEM) △ 二次電子：外層價電子激發(fā) (SEM) △ 俄歇電子：內層電子激發(fā) (AES) △ 特征 X射線：內層電子激發(fā) (EPMA) △ 連續(xù) X射線：軔致輻射 (本底） 對于半導體材料： △ 陰極熒光 △ 電子束感生電流 2．檢測電子的能量分布 (二 ) 信息深度 △ 非彈性散射平均自由程： 具有一定能量的電子
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