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2024-12-27 03:34 本頁面
【正文】 2 波譜儀和能譜儀的檢測原理及比較。即原子序數(shù)效應的修正，吸收效應修正，熒光效應修正。 34武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳4 成分分析 （ 6）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析下圖為 34CrNi3Mo鋼中 MnS夾雜物的能譜面分析圖像。33武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳4 成分分析 （ 5）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析C 面分析 用于測定某種元素的面分布情況。方法是將 X射線譜儀（波譜儀或能譜儀）固定在所要測量的某元素特征 X射線信號（波長或能量）的位置上，把電子束沿著指定的方向做直線軌跡掃描，便可得到該元素沿直線特征 X射線強度的變化，從而反映了該元素沿直線的濃度分布情況。 30武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳4 成分分析 （ 2）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析如圖是用能譜儀得到的某鋼定點分析結果。但波譜儀的定量分析誤差（ 15%）遠小于能譜儀的定量分析誤差（210%）。 C 分辨本領 能譜儀的最佳能量分辨本領為 149eV，波譜儀的波長分辨本領表述為能量的形式后相當于 510eV，可見波譜儀的分辨本領比能譜儀高一個數(shù)量級。然后，在 XY記錄儀或陰極射線管上把脈沖數(shù)與脈沖高度曲線顯示出來，這就是 X光子的能譜曲線 。 23武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳2 能譜儀（ 3）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 多道脈沖高度分析器中的數(shù)模轉換器首先把脈沖信號轉換成數(shù)字信號，建立起電壓脈沖幅值與道址的對應關系（道址號與 X光子能量間存在對應關系）。 22武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳2 能譜儀（ 2）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 例如對 Fe的 Kα來說， V=，對 Cu的 Kα， V=。 每個 X光子能量被硅晶體吸收，并將在晶體內產生電子空穴對。 17武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳1 波譜儀（ 3）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析18武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳1 波譜儀（ 4）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析波譜儀常用的分光晶體的基本參數(shù)和可測范圍。 15武漢理工大學資環(huán)學院 管俊芳1 波譜儀（ 1）電子顯微分析 第六章 X射線譜儀及微區(qū)成分分析 波譜儀的關鍵在于怎樣實現(xiàn)將未知的特征譜線與已知元素 Z聯(lián)系起來？ 與 XRF中一樣，用一種已知面網(wǎng)間距的晶體 ——分光晶體，當不同特征波長 λ的 X射線照射其上時，如滿足 2dsinθ=λ，則將產生衍射。因此這類試樣在觀察前要 噴鍍導電層進行處理 ，通常采用二次電子發(fā)射系數(shù)較高的 金銀或碳膜做導電 層，膜厚控制在 20nm左右 。 例如 SE和 BE，一般 SE像的分辨率約為 510nm，BE像的分辨率約為 50200nm。對微區(qū)成分分析而言，它是指能分析的最小區(qū)域；對成像而言，它是指能分辨兩點之間的最小距離。 如果熒光屏的寬度 Ac=100mm，當 As=5mm時，放大倍數(shù)為
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