電子探針epmappt課件(完整版)
【正文】 過程中的許多物理現(xiàn)象，十分敏感地受到樣品本身化學成分的影響，需要一整套復雜的校正計算。對波長為 的 X射線，需要使用幾塊晶體展譜。 彎晶在某一方向上作直線運動并轉(zhuǎn)動，探測器也隨著運動。波譜儀利用某些晶體對 X射線的衍射作用來達到使不同波長分散的目的。 ? 放大倍數(shù) : 50 ~ 400,000 ? １５ｋＶ ５００００ 三、設備性能指標 ? 電子探針是指用聚焦很細的電子束照射要檢測的樣品表面 ， 用 X射線分光譜儀測量其產(chǎn)生的特征 X射線的波長和強度 。 由于電子束照射面積很小 ， 因而相應的 X射線特征譜線將反映出該微小區(qū)域內(nèi)的元素種類及其含量 。 若有一束包括不同波長的 X射線照射到一個晶體表面上，平行于該晶體表面的晶面 (hkl)的間距為 d，入射 X射線與該晶面的夾角為 θ1，則其中只有滿足布喇格方程 λ1=2dsinθ1 的那個波長的 X射線發(fā)生衍射。聚焦圓半徑不變，圓心在以光源為中心的圓周上運動，光源、彎晶和接收狹縫也都始終落在聚焦圓的圓周上。選擇晶體的其他條件是晶體的完整性、波長分辨本領、衍射效率、衍射峰強度和峰背比都要高，以提高分析的靈敏度和準確度。 對于原子序數(shù)高于 濃度高于 10%左右的元素來說，定量分析的相對精度約為 177。但對于原子序數(shù)低于 10的一些輕元素或超輕元素來說，無論從定性還是定量分析的角度來看，尚有許多方面需要改善和提高。 (2) 入射電子束流的選擇 樣品為了提高 X射線信號強度，電子探針儀必須采用較大的入射電子束流。因此，只要讀出譜儀上的 L值，就可直接得到 λ值。 若電子束位置不變，改變晶體的位置，使 (hkl)晶面與入射 X射線交角為 θ2，并相應地改變檢測器的位置，就可以檢測到波長為 λ2= 2d sinθ2的 X射線。 只要測出特征 X射線的波長，就可確定相應元素的原子序數(shù)。 ， CeBix燈絲 :50197。 樣品臺
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