關(guān)于電子探針x射線顯微分析-閱讀頁
2025-01-11 02:34本頁面
【正文】 低（ 160／ 135）高高，一定條件下是常數(shù)差探頭液氮冷卻 樣品制備n EMPA對樣品尺寸大小、導(dǎo)電性、預(yù)處理的要求與 TEM相同，除此之外，應(yīng)注意：① 定量 分析的樣品，表面必須 拋光 以保證平整、光滑。③ 樣品表面清潔，防止污染。 對比單元素特征譜線波長，確定樣品中的元素。 每種元素選擇 一根 譜線與已知成分純元素 標(biāo)樣 的同根譜線進(jìn)行比較，確定元素含量。n 譜線強(qiáng)度峰的位置波長 → 微區(qū)含有 元素 元素某一譜線的強(qiáng)度 → 元素的 含量微區(qū)成分分析（ 2） 線掃描 分析n 聚焦電子束在試樣沿一直線慢掃描，同時(shí)檢測某一指定特征 x射線的瞬時(shí) I，得到特征 x射線 I沿試樣掃描線的分布。線掃描分析n 對于測定元素在材料相界和晶界上的 富集與貧化 是十分有效的。線掃描分析（ 3） 面掃描 分析n 電子束在試樣表面進(jìn)行面掃描，譜儀只檢測某一元素的特征 x射線位置，得到由許多亮點(diǎn)組成的圖像。n 準(zhǔn)確顯示與基體成分不同的 夾雜物 的形狀，定性顯示元素 偏析 。 注意：n 線掃描、面掃描要求樣品表面平整，否則出現(xiàn)假象。n 定量分析是一種半定量分析。 應(yīng)用n 一種無損的微區(qū)分析，特別是成分及其分布。（冶金、材料、生物、醫(yī)學(xué)、考古等）應(yīng)用舉例n 組分不均勻合金試樣的微區(qū)成分分析n 擴(kuò)散對試樣中成分梯度的測定n 相圖低溫等溫截面的測定n 金屬／半導(dǎo)體界面反應(yīng)產(chǎn)物其它電子顯微鏡掃描隧道顯微鏡 (STM)n 主要用于表面原子成象（導(dǎo)體）n STM的橫向分辨率高達(dá) 1197。它對原子的檢測深度 1－ 2個(gè)原子層，對樣品無破壞。Atomic Resolution on Si(111)原子力顯微鏡 (AFM)n Dr G. Binning developed AFM in 1986n 可測量表面原子間的力（可測量最小位移102104 197。（可用于非導(dǎo)體）n 橫向分辨率 ，縱向分辨率為
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